판매용 중고 MICROMANIPULATOR 6600 #9272821

MICROMANIPULATOR 6600은 고급 반도체 공정 분석에 사용하도록 설계된 고급 전문가입니다. 반도체 공정의 데이터를 수집하고 분석하는 데 내장된 "센서 '(array of bist-in sensor) 를 사용하는 매우 정확한 고성능 플랫폼입니다. 6600 은 공정 환경 (process environment) 과 테스트 대상 기판 (substrates) 의 온도를 측정하고 제어할 수 있다. 섭씨 -50도에서 + 190도 사이의 3 채널 온도 조절이 특징입니다. 온보드 자동 조정은 시간에 따라 반복 가능한 분석을 의미합니다. 또한 유동 속도가 ± 0.05 ° C로 낮아 높은 정밀도 온도 조절이 가능합니다. 온도 조절 외에도 MICROMANIPULATOR 6600 (MICROMANIPULATOR 6600) 은 프로세스 제어 및 분석을 최적화하기 위해 설계된 다양한 기능을 갖추고 있습니다. 예를 들어, 자동 동기화 (auto-sync) 및 자동 초점 (auto-focus) 기능을 사용하면 측정되는 기판의 피쳐와 함께 프로버 팁을 정확하게 정렬할 수 있습니다. 자동 zeroing, 자동 오프셋 (auto-offsetting) 및 자동 조잡한 정렬 (auto-coarse alignment) 을 통해 장비의 수명 동안 정확도를 유지할 수 있습니다. 또한 6600 은 데이터 수집을 자동화하기 위해 여러 개의 Probe 헤드를 동기화할 수 있는 고급 스캐닝 제어 시스템 (Advanced Scanning Control System) 을 갖추고 있습니다. 이 장치는 표준 검색 속도 (scan rate) 와 최대 기능을 위한 빠른 검색 속도 (fast scan rate) 를 위해 구성할 수 있습니다. 또한, 섹터 스캔 및 건너뛰기 스캐닝을 사용하여 수집된 총 데이터 양을 줄일 수 있습니다. MICROMANIPULATOR 6600의 다른 기능으로는 비 접촉 여행 모니터링, 정밀 리프트 제어, 2 채널 전자 빔 바이어스 제어, 충돌 감지 및 중요한 프로세스 흐름 데이터 및 과열 보호를위한 경보기가 있습니다. 이 툴은 다양한 데이터 형식 (data format) 과 호환되며, 다양한 방법으로 결과를 분석할 수 있는 기능을 제공합니다. 6600은 반도체 프로세스 분석을위한 강력한 도구입니다. 고급 제어 기능, 고해상도 센서 어레이, 다양한 기능을 통해 사용자는 최적의 프로세스 제어를 위해 데이터를 캡처하고 분석할 수 있습니다 (영문).