판매용 중고 KLA / TENCOR 1007E #293828362
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KLA/TENCOR 1007E Prober는 작은 샘플의 특정 물리적 특성을 측정하도록 설계된 산업 도량형 기계입니다. 이 장비는 표면의 마무리 (surface finish), 스텝 높이 (step height) 또는 기타 형상 피쳐와 같은 샘플의 자세한 물리적 피쳐를 직접 측정하는 빠르고 정확한 방법을 제공합니다. 테스트를 위해 KLA 1007E에는 정밀한 스캔 및 이미징 기능을 제공하는 전자 빔 기반 스캐닝 전자 현미경 (SEM) 이 장착되어 있어, 사용자가 정해진 해상도로 샘플을 정확하게 프로파일 (profile) 할 수 있습니다. SEM은 가변 전압 (variable voltage) 과 가변 전류 (variable current) 설정을 모두 가지므로 확대된 이미지 크기와 픽셀 해상도를 정확하게 지정할 수 있습니다. 또한 SEM에는 샘플의 표면 너비와 높이를 정확하게 측정하기위한 고해상도 (high-resolution) x- 선 검출기와 펄스 레이저 (pulsed laser) 가 장착되어 있습니다. TENCOR 1007E는 샘플을 측정하는 데 사용할 최대 16 개의 다른 프로브를 지원할 수있는 16 슬롯 테스트 헤드를 갖추고 있습니다. 이러한 프로브는 접촉 각도를 측정하는 데 사용되는 간단한 기계적 프로브 (mechanical probe) 에서 전기적 특성을 측정하기위한 고급 광학 및 용량 프로브 (capacitive probe) 까지 다양합니다. 프로브는 최적 배치 및 반복 성을 위해 고정밀 수동 위치 시스템 (high-precision manual positioning system) 과 저진동 공압 샘플 홀더로 샘플에 배치됩니다. 강력한 SEM 외에도 1007E에는 완전히 프로그래밍 가능한 스티그마 소메트리 유닛이 장착되어 있습니다. 이 머신은 샘플의 지형이나 서피스 (surface) 피쳐를 측정할 때 광범위한 속도와 정확도 옵션을 제공합니다. 공구 (Tool) 는 세 축 모두에서 이동하는 스테이지를 사용하여 피쳐를 측정하거나 이미징을 제공하기 위해 원하는 지점에 스테이지를 정확하게 배치합니다. 마지막으로, 기계에는 강력한 마이크로 프로세서와 직관적 인 그래픽 사용자 인터페이스 (graphical user interface) 가 장착됩니다. 이 자산을 통해 사용자는 기계의 작업을 쉽게 프로그래밍하고 제어할 수 있고, 포함된 보기/플로팅 (plotting) 소프트웨어로 측정 데이터를 분석할 수 있습니다. 또한 KLA/TENCOR 1007E는 측정 데이터 및 프로그램 설정을 백업 및 저장할 수 있는 기능을 제공합니다. 전반적으로 KLA 1007E Prober는 훌륭한 산업 측정 도구입니다. 강력한 SEM, 매우 정확한 Probe 포지셔닝 모델, 직관적인 GUI (Graphical User Interface) 를 통해 작은 샘플의 물리적 속성에 대한 정확한 측정 및 자세한 정보를 제공할 수 있습니다.
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