판매용 중고 KLA / TENCOR 1007 #9086381

KLA / TENCOR 1007
제조사
KLA / TENCOR
모델
1007
ID: 9086381
Wafer prober.
KLA/TENCOR 1007은 다양한 어플리케이션을 위해 설계된 다목적 풀 웨이퍼 모니터링 전문가입니다. 실시간으로 최대 5 만 개의 사이트를 모니터링할 수 있으며, 수율 관리, 장애 분석, 프로세스 최적화 등에 사용할 수 있습니다. 견고한 장비는 12 "~ 300mm 크기의 모든 웨이퍼 크기에 대해 구성 할 수있는 맞춤형 교환 가능한 프로브 세트를 갖추고 있습니다. 이 시스템은 통합 고속 이미지 캡처, FOV (Multiple Field of View) 측정, 프로그래밍 가능한 광학 등 다양한 테스트 실행 리소스를 제공합니다. 이 장치의 광학 머신에는 가변 조리개 크기와 로봇 웨이퍼 스테이지 (robotic wafer stage) 가 제공되어 정밀 동작 제어가 가능합니다. 또한, 이 도구에는 표준 결함 탐지기 (standard defect detector) 에 의해 누락 될 수있는 결함을 신속하게 찾아서 측정 할 수있는 매우 정확한 테스트 패턴 인식 엔진 (Test Pattern Recognition Engine) 이 장착되어 있습니다. KLA 1007 은 고급 분석 자료로, 데이터를 통해 주요 통찰력을 얻을 수 있습니다. 여기에는 통계 및 상관 관계 분석, 클러스터링 및 분류, 프로세스 제어 시스템, 예측 분석이 포함됩니다. 또한 테스트 중과 테스트 후 추적 가능한 테스트 데이터 (Tracable Test Data) 에 액세스할 수 있으므로 여러 테스트 결과를 정교하게 분석하고 비교할 수 있습니다. 이 Prober는 장비와 인력을 모두 보호하기 위해 많은 안전 (Safety) 기능을 통합했습니다. 여기에는 E-stop, lockout core 태그, 테스트 환경을 깨끗하고 안전하게 유지하는 독특한 먼지 격리 자산이 포함됩니다. 또한, 이 모델은 테스트 및 제조 프로세스에서 인적 오류의 위험을 최소화하도록 설계되었습니다. 마지막으로, TENCOR 1007 은 업그레이드가 가능하도록 설계되었으며, 최고 성능으로 계속 실행할 수 있는 수많은 유지 보수 (maintenance) 기능이 포함되어 있습니다. 운영 프로세스의 효율성을 보장할 뿐만 아니라, 사용자가 안전하게 작업 환경을 유지할 수 있도록 도와 드립니다 (영문).
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