판매용 중고 KLA / TENCOR 1007 #200859
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KLA/TENCOR 1007은 웨이퍼 레벨 (wafer level) 및 패키지 레벨 결함 등 도량형의 모든 측면에서 탁월한 성능을 제공하도록 설계된 최첨단 전문가입니다. 전기 테스트 (Electrical Testing) 와 광학 검사 (Optical Inspection) 를 모두 수행할 수 있으며 다이 크기 (Die size), 활 (Bow), 사발성 (Coplanarity), 웨이퍼 평평 (Wafer Flatness) 과 같은 다양한 편차 작업을 처리 할 수 있습니다. 클라이 1007 (KLA 1007) 은 빠른 테스트 시간을 위한 고속 기능을 제공하며, 최대 탐지를 위해 임의 영역뿐만 아니라 고리 형을 스캔할 수 있습니다. 또한 초당 여러 포인트에 대한 고해상도 공간 샘플링 (spatial sampling) 이 있으며 웨이퍼 (wafer) 및 패키지 (package) 레벨 이미징이 모두 가능합니다. 프로버 (Prober) 는 설치와 작동이 용이한 직관적인 GUI (Graphical User Interface) 와 함께 제공되며 대부분의 표준 소프트웨어 패키지와 통합될 수 있습니다. 온보드 기능은 자동 테스트 시퀀스 (Automated Test Sequence) 및 프로세스를 위해 중요한 매개변수에 쉽게 액세스할 수 있도록 설계되었습니다. 이 프로버에는 4 개의 플로팅 스테이지, X-Y-Z 모션 및 긴 이동 범위가 장착되어 있습니다. X-Y 범위는 +/- 200mm 및 Z 범위 20mm이며 총 이동 범위는 +/- 100mm입니다. 또한, 모든 prober 이동 구성 요소는 Boron Nitride 챔버로 둘러싸여 오염이 적습니다. 또한 TENCOR 1007에는 급지대, 테스트 헤드, Prober 어댑터, 모션 하드웨어 등 다양한 패키지 처리 및 Prober 액세서리가 제공됩니다. 이를 통해 프로버를 모든 통합 프로세스 시퀀스에 쉽게 통합하여 정확한 결과를 얻을 수 있습니다. 마지막으로 1007 은 다양한 서비스 및 지원 옵션 (예: 예방/맞춤형 솔루션) 을 통해 구입할 수 있습니다. 이 회사는 또한 테스트 결과를 평가하고, 해결하는 데 도움이 되는 다양한 데이터 분석 툴을 제공합니다. 이러한 툴의 도움을 받아 고객은 프로세스 테스트가 안정적이고 정확하다는 사실을 안심할 수 있습니다 (영문).
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