판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC PSM6 #9247262
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ID: 9247262
Wafer prober
With vacuum chuck, 6"
(10) Manipulators (PH 100, PH 150)
With vibration damped table
BAUSCH & LOMB Microscope
Objective: 2.25 x 0.04, 8 x 0.15, 25 x 0.31
Ocular: 10x
Oriel anti vibration table
(4) KARL SUSS PH 100 Needle holder
(4) KARL SUSS PH 150 Needle holder
KARL SUSS Probe needles
Power supply: 220 V for Microscope light
Manual.
KARL SUSS/MICROTEC PSM6은 반도체 장치 및 공정 특성을 위해 설계된 자동화된 전체 기능의 전문가입니다. 최대 6 개의 웨이퍼를 수용 할 수있는 100 um 이동 범위의 스테이지가 특징입니다. 또한 진공 및 주변 모두에서 수동 접촉을 수행 할 수 있습니다. MICROTEC PSM6 (MICROTEC PSM6) 에는 프로브를 정확하게 정렬하고 정확한 연결을 보장하는 이중 축 스캔 기능이 있습니다. Prober에는 Prober Mechanics, 측정 목적, 테스트 프로그램, 작업 정의 등을 제어하는 다양한 기능을 제공하는 포괄적인 소프트웨어 프레임 워크가 장착되어 있습니다. 또한 자동화된 데이터 수집, 결과 처리 및 데이터 아카이빙을 지원합니다. KARL SUSS PSM 6의 핵심은 정확한 XYZ 동작 및 힘 측정 기능으로 구성된 고급, 다기능 플랫폼입니다. 이 플랫폼을 통해 프로브 (Probe) 는 다양한 프로세스 및 디바이스 요구에 빠르게 적응할 수 있으며, 또한 가장 효율적인 방법으로 광범위한 테스트 프로토콜 (Test Protocol) 을 적용할 수 있습니다. 이를 통해 정확하고, 반복적이며, 신뢰할 수 있는 결과를 얻을 수 있으며, 이 시스템은 프로세스 개발, 평가, 운영 테스트에 적합합니다. KARL SUSS/MICROTEC PSM 6에는 정밀 광학 현미경이 장착되어 있어 프로브 포지셔닝의 정확성을 크게 향상시킵니다. 통합 비전 시스템을 사용하면 자동으로 등록, 기능 인식, 정렬 및 포지셔닝을 수행할 수 있습니다. 이는 최고 수준의 정확성과 반복성을 보장합니다. Prober의 최첨단 구성 요소, 고속 프로세싱, 직관적인 사용자 인터페이스를 통해 PSM 6은 강력하고 안정적인 툴이 됩니다. 높은 처리량과 낮은 TCO (소유 비용) 를 필요로 하는 사용자의 경우, 고급 자동화 기능을 통해 효율성을 극대화할 수 있습니다. 또한 다양한 CAD 시스템과 완벽하게 통합되어 있어 테스트 프로그램을 빠르고 정확하게 개발, 평가, 디버그할 수 있습니다.
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