판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC PM5 #9211097

KARL SUSS/MICROTEC PM5는 반도체 장치의 테스트 및 특성화와 관련된 다양한 어플리케이션을 위해 설계된 대용량 자동 웨이퍼 프로버 (automated wafer prober) 입니다. 이 프로버는 수동 조절성, 서보 모터 구동 X-Y 테이블 및 프로그래밍 가능한 Z 스테이지가있는 프로빙 스테이션으로 구성됩니다. Probe 시간을 최소화하면서 처리량을 최대화할 수 있도록 설계되었습니다. 이 장비에는 가장 작은 샘플 (예: 동굴, 참호) 을 효율적으로 조사 할 수있는 기능과 빠른 웨이퍼 검사를 위해 오버레이 (over-lay) 정렬이 가능한 기능이 장착되어 있습니다. MICROTEC PM5의 높은 정확성과 반복성은 뛰어난 조사 결과를 가능하게합니다. 정밀 선형 액추에이터, 폐쇄 루프 피드백, 진동 댐핑 (damping) 으로 구성되며 소음 및 드리프트 문제를 최소화합니다. 프롤러의 모듈식 디자인은 단일 척 헤드 (single chuck head) 에서 듀얼 척 헤드 (dual chuck head) 까지 모든 구성을 허용합니다. 또한 KARL SUSS PM 5는 연락처, 비접촉, 비파괴적 조사 등 다양한 애플리케이션에 대한 다양한 Probing 기술을 갖추고 있습니다. 또한 다양한 웨이퍼 (wafer) 크기를 지원하여 다양한 샘플 유형을 수용할 수 있습니다. PM 5는 완전한 프로그래밍 가능한 컨트롤러와 높은 수준의 작동을 제공합니다. 프로버 (Prober) 의 모든 외부 장치를 제어하고 동기화할 수 있으며, 자동 테스트 (Automated Testing) 및 오류 검증 (Error-Proofing) 기능을 제공하는 다양한 프로그래밍 가능한 기능을 제공합니다. 이 소프트웨어 패키지에는 자동 진공 처리, 설정 루틴, 보정 및 매개변수 체계 (calibration and parameterization system) 등의 기능이 포함되어 있습니다. 이 소프트웨어는 가장 복잡한 테스트 요구 사항을 처리하고 정확하고 반복 가능한 측정값을 제공하도록 설계되었습니다. KARL SUSS/MICROTEC PM 5는 완전히 포괄적인 안전, 테스트 및 유지 관리 기능을 갖추고 있습니다. over pressure protection, short circuit protection, vibration and shock protection 등 여러 가지 안전 기능이 있습니다. 이 장치에는 웨이퍼 레벨 활성 히터 제어, 통합 열 이미징 머신, 머신 비전 도구 등 여러 내부 진단 기능도 포함되어 있습니다. 전문가의 정기적 인 유지 보수에는 최소한의 노력이 필요하며, 자산은 사용자 친화적으로 설계되었습니다. 전반적으로 KARL SUSS PM5 는 처리량을 극대화하고 다양한 애플리케이션의 Probe 시간을 최소화하도록 설계된 자동화된 Wafer Prober입니다. 모듈식 설계를 통해 다양한 구성이 가능하며, 높은 정확성과 반복성은 탁월한 성능을 보장합니다. 이 모델에는 완전 프로그래밍 가능한 컨트롤러 (Fully Programmable Controller) 및 포괄적인 안전 (Safety) 기능과 최소한의 정기 유지 보수 요건이 포함되어 있습니다.