판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC PA 150 #9023923

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ID: 9023923
Mask aligner 8" vacuum chuck Mitutoyo FS-60 microscope M Plan APO 10x, 20x, SL100X (super long working distance), 10x/24 eyepieces Sony DXC-107A video camera Suss power supply and joystick controller Integrated vacuum manifold Optional: Karl Suss dark box with TMC isolation table Karl Suss micropositioners, 6 available.
KARL SUSS/MICROTEC PA 150은 웨이퍼 프로버 응용 프로그램을 위해 설계된 고성능 웨이퍼 프로브 스테이션입니다. 임베디드 컨트롤러 (Embedded Controller) 와 빠르고 정확한 측정값을 제공하는 직관적인 소프트웨어가 장착되어 있습니다. 이 프로버는 패턴 (Patterns) 을 사용하여 프로브 할 수있는 피치 (pitch) 가 200äm인 100äm에서 300äm까지 돌출 할 수 있습니다. MICROTEC PA 150의 상위 단계는 매핑 레이저 (Mapping Laser) 로 내부적으로 보정되므로 프로브 팁 및 장치 경로의 측정이 정확합니다. 프로버에는 x-y-z 수동 스테이지가 장착되어 있으며, 웨이퍼 또는 기판을 정확하게 이동할 수 있습니다. x 스테이지는 x축에서 최대 370mm까지 이동하도록 구성 될 수 있으며, y축은 570mm까지 도달하여 다양한 웨이퍼 (wafer) 크기와 구성을 허용합니다. 또한 MICROTEC의 탁월한 정확도와 제어를 유지하면서 최고 50mm/s의 속도로 움직이는 고속 스캐닝 스테이지가 장착되어 있습니다. 정밀한 스캐닝 기능은 온보드 온도 안정화 시스템 (Onboard Temperature Stages) 에 의해 지원되며, 이는 단계간 열 팽창이 짝수 감소합니다. 각 KARL SUSS PA-150에는 매우 정확한 측정 기능도 있습니다. 이 검사는 단일 트랜지스터 또는 전체 웨이퍼 측정에서 높은 반복성으로 데이터를 수집 할 수 있습니다. 프로버 (Prober) 의 온보드 자동 정렬 (On Board Auto-Alignment) 을 통해 단일 칩 또는 프로브를 사용한 전체 웨이퍼를 빠르고 정확하게 정렬 할 수 있습니다. 마지막으로 KARL SUSS/MICROTEC PA-150은 절대 위치 시스템을 제공하여 사용자에게 정확한 요구에 맞게 도구를 자유롭게 구성할 수 있습니다. 또한 오염 제어를 가능하게하는로드 잠금 옵션도 제공합니다. 결론적으로 PA-150은 매우 정확하고 신뢰할 수있는 웨이퍼 프로버로, R&D 및 저용량 생산에 적합합니다. 다양한 웨이퍼 (wafer) 크기를 처리할 수 있으며, 효율적인 프로브 (Probing) 프로세스를 위해 높은 정밀도와 제어를 제공합니다.
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