판매용 중고 ELECTROGLAS / EG 4090u #9266584

제조사
ELECTROGLAS / EG
모델
4090u
ID: 9266584
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 2002
Prober, 8" Monitor type: Flat, 10" DCM Type: 4 A14 Type: B Vision module firmware: 272633 Vision module: Micro OWS type: Standard Chuck top: TEMPTRONIC Gold tri-temp OCR Style: ELECTROGLAS DPS Camera CPCS II Probe tip cleaning Air requirement: 80-psi Vacuum requirement: 24” Hg Tri-temperature TEMPTRONIC Chiller Air dryer Temperature controller Air flow controller Operating system: DOS 6.22 Power requirement: 115 VAC 2002 vintage.
ELECTROGLAS/EG 4090u 프로버는 직경이 최대 300mm 인 웨이퍼의 자동, 비 접촉 프로브를 위해 설계된 벤치 탑 프로버입니다. 산업 등급 로봇 암 (robotic arm) 이 장착되어 있으며, 매우 정확한 움직임과 포지셔닝이 가능합니다. 이를 통해 수동 프로버보다 정확도를 높일 수 있습니다. EG 4090u의 해상도는 0.5 미크론입니다. 이것은 정확한 XY 스테이지, 정밀 볼 스크루 및 수직 동작을위한 flexure 기반 Z 스테이지를 사용하여 가능합니다. E4090 단일 패스 단일 포인트 전기 컨택터 (single-pass single-point electrical contactor) 는 상호 연결에 사용되며 목표 80msec에서 접촉 시간을 제공 할 수 있습니다. 프로버에는 두 개의 카메라가 장착되어 있습니다. 카메라 대 스테이지 정렬을위한 저배율 동력 카메라, 기판 시청 및 초점 작업을위한 고배율 고정 카메라. 연락 품질을 모니터링하는 현장 비전 시스템도 있습니다. ELECTROGLAS 4090 U는 업계 표준 VME 아키텍처와 Ultra SCSI 호스트 인터페이스로 구동됩니다. 또한 Windows NT 운영 체제를 지원합니다.4090u에는 매크로 명령 라이브러리가 포함되어 있으므로 사용자 정의 Probing 루틴이 빠르고 쉽게 개발 될 수 있습니다. 최적의 온도 제어를 위해 EG 4090 U는 냉각 정확도가 +/- 0.2C 인 통합 폐쇄 루프 칠러를 갖습니다. 프로브 중 프로브 팁에서 일정한 온도를 유지하는 열 보상 시설 (thermal compensation facility) 이 특징입니다. 이것은 정확하고 일관된 접촉 품질을 보장합니다. ELECTROGLAS/EG 4090 U는 E-stop 및 limit 스위치와 같은 다양한 안전 기능으로도 설계되었습니다. 또한 사용자가 배출 또는 방사선 위험 (radiation hazard) 으로부터 보호하기 위해 이중 연동 커버가 있습니다. 요약하면, ELECTROGLAS 4090u는 직경이 최대 300mm 인 기판의 정밀한 자동 프로브가 필요한 어플리케이션을 위해 설계된 고성능, 정밀 프로버입니다. 벤치탑 디자인에서 높은 수준의 정확성과 안전성을 제공합니다.
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