판매용 중고 ELECTROGLAS / EG 2001X #9155110
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ID: 9155110
Prober
Table: High
Operating system: Prober vision.DF (Eprom)
Ring carrier: RC-2
Profiler: Piston
Microscope: Olympus SZ-30
Chuck top: 6 Inch gold-ambient
Align camera: cohu - black
Z Stage: PZ-150, 0.5-mil
DAR Resolution: High
Handler type: 6 Inch belt track
Vision module: Cognex PRM-2
Power requirement: 220 Vac
Air requirement: 80 psi
Vacuum requirement: 18 Inch Hg.
ELECTROGLAS/EG 2001X는 집적 회로의 전기 특성을 테스트하기 위해 반도체 산업에 사용되는 웨이퍼 프로버입니다. 전기적, 기계적, 열적 문제를 극복하기 위해 최첨단 설계를 활용하는 고급 웨이퍼 프로브 장비입니다. 균일 한 다이 로딩 (die loading), 미세 입자 보호 및 개선 된 모니터링 기능 (monitorability) 과 같은 기능을 통해 높은 테스트 정밀도와 수율을 얻을 수 있습니다. EG 2001 X는 고정밀, 이중 자기 선형 모터 및 슬라이프 프리 디자인으로 구성된 Advanced Travel Mechanism을 특징으로합니다. 이는 프로버의 기계적 운동이 전기적 측정으로 전이될 때 접촉력 (contact force) 으로 인한 항복 감소 섭동을 감소시킵니다. 균일 한 다이 로딩 (die loading) 은 텅스텐 접촉력 (tungsten contact force) 을 사용하여 제공되므로 프로브 과정에서 일관된 압력과 접촉이 보장됩니다. ELECTROGLAS EG2001X에는 열전대 배치를위한 정밀 매핑 시스템도 장착되어 있습니다. 이는 작업 헤드 온도 감지 (workhead tempering) 요소의 배치를 최적화하여 열 하중을 보다 균등하게 분배함으로써 온도를 철저하게 조절합니다. 이를 통해 장치 안정성을 유지하고 저전력 (LP) 칩을 테스트하는 제한된 작동 범위를 개선할 수 있습니다. EG EG2001X는 전도성 에폭시 표면을 가진 정전기 방전 (ESD) 으로부터 보호되어 전기 부품의 손상을 줄입니다. 또한, 고급 모니터링 (advanced monitoring) 기능은 전체 테스트 프로세스 동안 시스템이 최적으로 작동하는지 확인합니다. 이 기능은 정교한 데이터 로깅 툴과 결합하여 테스트 결과를 상세하게 분석할 수 있습니다 (영문). 또한, 고급 프로세스 제어를 위한 고급 회로 테스트 기능이 포함되어 있습니다. 이러한 기능에는 디바이스 격리 (device isolation) 및 패라메트릭 테스트 (parametric test) 기능이 포함되어 있어 제품 생산량 및 추세를 더욱 자세히 파악할 수 있습니다. 요약하자면, EG 2001X는 첨단 웨이퍼 프로버 (wafer prober) 로서 최첨단 설계 및 성능 기능을 통해 탁월한 테스트 정확도와 수율을 제공합니다.
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