판매용 중고 ELECTROGLAS 4001 #192465
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ELECTROGLAS 4001은 반도체 특성, 웨이퍼 정렬 및 수율 분석을 위해 특별히 설계된 고성능 프로버입니다. 프로브 스테이션은 웨이퍼를 정확하게 배치할 수있는 고정밀 공간을 제공합니다. 그것은 X-Y-Z로 운전하는 수평 화강암 염기와 메커니즘으로 구성됩니다. 스프링 로드 캔틸레버 기반 프로브 시스템은 직경이 최대 200mm 인 모든 웨이퍼 크기를 수용하도록 설계되었습니다. X-Y 비행기에서 상당한 8 인치 이동이 있고, 배치 정확도에 필요한 미세 튜닝을 용이하게하기 위해 127mm의 Z 여행이 있습니다. 4001은 또한 상단 장착 XY 테이블을 갖추고 있으며, 이를 통해 프로브 (Probe) 카드의 하이 임피던스 (High-Impedance) 환경으로 프로브 팁을 정확하게 이동할 수 있습니다. XY 테이블 (XY table) 은 테스트, 수동 또는 자동 영역 위에 다양한 프로브 카드를 배치하여 반도체 다이 (dies) 의 테스트 작업에 이상적인 도구입니다. ELECTROGLAS 4001에는 조절 가능한 줌 전력을 갖춘 고해상도 디지털 비디오 현미경이 있습니다. 이 현미경은 웨이퍼 (wafer) 의 미세한 점을 관찰하고 신호 품질의 최소한의 손실로 압력없는 접촉 프로브 (contacing probe) 를 정렬하는 데 사용될 수 있습니다. 현미경에는 수많은 디지털 이미지 저장 및 조작 옵션도 있습니다. 또한 조정 가능한 온도 범위는 10- ~ 40입니다. 열 팽창 (thermal expansion) 을 최소화하고 결함이 있는 컴포넌트 중 하나를 최소화하기 위해 온도를 설정해야 합니다. PID 제어를 사용하여 온도를 정확하게 제어하여 최대 ± 0.1 '의 정확도를 제공합니다. 4001은 또한 매우 중요한 위치 감지 (position sensing) 기능을 가지고 있으며, 이는 웨이퍼의 접촉 프로브 (contact probe) 를 정확하게 배치하는 데 도움이됩니다. 위치 감지는 외부 인코더 (로봇 시스템을 구동하는 인코더와 유사) 를 사용하여 프로브 팁의 정확한 X, Y 및 Z 좌표를 계산합니다. ELECTROGLAS 4001에는 여러 가지 안전 기능이 내장되어 있습니다. 이러한 안전 기능에는 주어진 기간 후 자동 차단, 비상 정지 및 긴급 공황 스위치, 이중 백업 물 공급 장치, 긴급 접점 (Emergency Contact Point) 등이 포함됩니다. 전체적으로 4001은 다양한 반도체 테스트 어플리케이션을 위해 설계된 고성능, 신뢰할 수있는 전문가입니다. 높은 수준의 정확성, 견고한 구성, 안정적인 안전 (Safety) 기능을 통해 테스트 작업의 품질과 속도를 향상시키는 데 도움이 됩니다.
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