판매용 중고 ELECTROGLAS 2001 #9282032
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ELECTROGLAS 2001은 ELECTROGLAS에서 제조 한 웨이퍼 프로버입니다. 반도체 집적 회로 (IC) 의 정밀 조사를 가능하게하는 자동화된 시력 유도 배치 장비입니다. 이 시스템에는 웨이퍼 로더, 웨이퍼 프로버, 자동 X-Y 좌표 단위 및 비전 하위 시스템이 있습니다. 웨이퍼 로더에는 프로버에서 웨이퍼 카세트를 적재 및 언로드하기위한 2 개의 로봇 암이 있습니다. 웨이퍼 프로버 (wafer prober) 는 직경 최대 8 인치의 웨이퍼 크기를 처리 할 수 있으며, 각 사이클마다 최대 200 웨이퍼 표면을 측정 할 수 있습니다. 800 x 800 미크론 범위의 고정밀 X-Y 스테이지가 있으며 최대 30,000 미크론/초의 속도로 작동 할 수 있습니다. 자동 X-Y 좌표계 (Automated X-Y coordinate machine) 는 프로브를 위해 웨이퍼를 정렬하는 데 사용되며 X-Y 평면의 크기와 모양의 웨이퍼를 어느 위치에서나 조사하도록 프로그래밍 될 수 있습니다. 비전 서브시스템은 이미지 처리 칩을 사용하여 웨이퍼 작업 중 피드백을 위한 웨이퍼 (wafer) 서피스를 검색, 스캔 및 측정합니다. 2001 년에는 사용자 지정 레시피를 프로그래밍할 수 있으며, 테스트 시간을 단축하기 위해 설계된 여러 기능을 제공합니다. 바코드 리더기 (Barcode Reader) 는 웨이퍼 유형을 식별할 수 있으며, 자동 정렬 (Automated Sorting) 기능은 테스트가 완료되었으며 아직 테스트되지 않은 웨이퍼를 신속하게 식별 할 수 있습니다. 또한 다양한 프로브 카드 (Probe Card), 최대 3 개의 프로브 카드 (Probe Card) 를 동시에 제어하여 다중 및 다용도 프로브 구성을 허용합니다. 다중점 접촉 탐지 도구 (Multi-Point Contact Detection Tool) 와 같이, 프로버의 외부 개체 (External Object) 나 활동을 감지하고 자산을 신속하게 차단할 수 있도록 설계된 여러 가지 안전 측정이 있습니다. 이러한 모든 기능은 ELECTROGLAS 2001을 IC 조사 및 검사를위한 효율적이고 신뢰할 수있는 도구로 만듭니다.
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