판매용 중고 CASCADE MICROTECH / ALESSI REL 5500 #9350483
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CASCADE MICROTECH/ALESSI REL 5500 Prober는 소형 고해상도 프로버로, 고급 웨이퍼 프로빙 솔루션에 적합합니다. 이 최첨단 Prober는 모든 유형의 반도체 장치를 조사하기 위한 다양한 기능과 유연성을 제공합니다. 이 신뢰성 있고 정확한 검사는 고급 마이크로 프로브 (micro-probe) 기술을 통해 단일 및 다중 다이 웨이퍼를 자동으로, 수동으로 조사할 수 있도록 설계되었습니다. ALESSI REL 5500 Prober는 복잡한 서보 제어 모터 시스템으로 구성되며, 정확한 x-y-z 포지셔닝을 제공하여 소외를 최소화하고 웨이퍼 프로빙 전체의 정확성을 보장합니다. 또한 고속 동작 제어를 제공하여 빠른 샘플 프로브를 가능하게합니다. 프로버 (Prober) 의 개방형 액세스 설계를 통해 샘플 및 프로브 (Probe) 단계에 쉽게 액세스 할 수 있으며, 서비스 및 유지 관리를 간소화합니다. CASCADE MICROTECH REL 5500 Prober는 150mm에서 4 인치까지 다양한 웨이퍼 크기를 지원할 수 있습니다. 통합 진공 보류 시스템 (vacuum hold-down system) 과 최적 평판 및 안정성을 위해 150mm 웨이퍼 링 (wafer ring) 이 있으며, 통합 열 척 (thermal chuck) 이 특징으로 웨이퍼 표면 전체에 균일 한 열 분포를 보장합니다. 또한 자동화된 웨이퍼 처리 (wafer handling) 서브시스템 및 웨이퍼 매핑 도구는 처리량을 향상시키고 연산자 유발 오류를 줄이는 데 도움이 됩니다. REL 5500에는 다양한 최첨단 제어 및 측정 기능도 장착되어 있습니다. 정밀도가 높은 다축을 활용하여 측정 정확도를 향상시키고, 불확실성을 최소화하는 인라인 (in-line), 자동 교정 (automated calibration) 및 검증 시스템을 제공합니다. 두 개의 독립 드라이브 축을 사용하면 수동 (manual) 모드와 완전 자동화 (fully automated) 모드 간에 손쉽게 전환할 수 있으므로 운영 유연성을 극대화할 수 있습니다. CASCADE MICROTECH/ALESSI REL 5500은 높은 수준의 다용성을 제공하여 단일 웨이퍼에서 여러 장치를 조사하거나 단일 프로브로 여러 웨이퍼를 트래버스할 수 있습니다. 이 기능은 강력한 자동 Probe 설정 (Automated Probe Setup) 소프트웨어로, 각 Probing 시퀀스의 제어 및 사용자 정의를 가능하게 합니다. 또한, 고급 데이터 수집 기능은 반복 가능한 결과와 포괄적인 분석을 보장하는 데 도움이 됩니다. 전반적으로 CASCADE MICROTECH REL 5500 prober는 다양한 반도체 장치를 조사하기위한 고급적이고, 정확하며, 신뢰할 수있는 전문가입니다. 최첨단 기능, 최첨단 제어/측정 기능을 갖춘 이 Prober는 복잡한 Wafer Probing 애플리케이션에 이상적인 솔루션입니다.
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