판매용 중고 CASCADE MICROTECH / ALESSI REL 5000 #9212223
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ID: 9212223
Prober
Trinocular head
Motorized control (Joystick)
Chuck with gold plating, 8"
Dark hood with integrated BNC connector array.
CASCADE MICROTECH/ALESSI REL 5000 프로브 스테이션은 마이크로 일렉트로닉스 어플리케이션을위한 고성능, 비용 효율적인 생산 지향 프로버입니다. 이 제품은 2 "~ 8" 의 다양한 웨이퍼 크기를 지원하며, 정확성과 반복성이 높은 자동화된, 정밀한 테스트 및 측정 기능을 제공하도록 설계되었습니다. 비접촉식 자동화된 프로버에는 소형 테스트 기판 (small test substrate) 의 조사 및 테스트를위한 고해상도 광학 도량형 (optical metrology) 장비가 장착되어 있습니다. 프로버 (Prober) 에는 정확한 포인트 투 포인트 (point-to-point) 제어를 제공하는 모션 제어 시스템이 장착되어 있으며, 프로브 헤드 내에서 기판의 정밀하고 반복 가능한 위치를 부여 할 수 있습니다. 이 검사는 또한 소프트웨어 제어 자동 X-Y-Z 스캔 메커니즘과 테스트 결과의 정확성을 높이기 위해 스테이지 스톱 (Stage Stop) 기능을 갖추고 있습니다. 프로버 (Prober) 는 최대 8 개의 웨이퍼를 동시에 처리 할 수 있으며 웨이퍼를 쉽게 배치하고 제거할 수있는 내장 리프트 메커니즘을 갖추고 있습니다. ALESSI REL 5000 프로버에는 최대 4 개의 프로브 암과 옵션 확장 범위 프로브가 장착되어 있습니다. 프로브 암은 개별적으로 조정 가능한 사전 정렬 된 프로브 팁 (Probe Tips) 으로 설계되어 빠르고 정확한 프로브를 보장합니다. 프로버 (Prober) 에는 웨이퍼 처리 장치 (Wafer Handling Unit) 가 함께 제공되어 웨이퍼를 더 빠르게 교환하고 처리량을 높일 수 있습니다. 테스트 결과의 정확성과 반복성을 보장하기 위해, 프로버에는 닫힌 루프 레이저 머신 (closed loop laser machine) 과 닫힌 루프 비디오 도구 (closed loop video tool) 가 장착됩니다. 레이저 에셋은 웨이퍼 (wafer) 표면의 잘못된 정렬을 감지하고 Probe 주기 동안 자동으로 보정합니다. 레이저 모델은 또한 프로브 팁의 일관된 좌표 정렬을 보장합니다. 웨이퍼 변형을 피하고, 테스트 정확도를 향상시키고, 더 나은 단계 신뢰성을 제공합니다. CASCADE MICROTECH REL 5000 Prober에는 고급 PIPS (Positioning and Inspection Platform Equipment) 도 함께 제공되며, 이 PIPS (Positioning and Inspection Platform Equipment) 는 프로버의 여러 영역으로 웨이퍼를 이동시키는 데 사용되며 비디오 카메라가 내장되어 웨이퍼를 검사하고 결함을 식별합니다. REL 5000 Prober는 마이크로 일렉트로닉 생산 및 테스트 응용프로그램을 위한 광범위한 기능을 제공하며, 다양한 마이크로 일렉트로닉 응용프로그램에 적합합니다. 신뢰할 수있는 정확성과 반복성 (repeatability) 을 통해, 검사는 광범위한 테스트 요구에 대해 신뢰할 수 있습니다.
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