판매용 중고 CASCADE MICROTECH / ALESSI REL 4300 #9119307
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ID: 9119307
웨이퍼 크기: 6"
Probe station, 6"
Chuck, 6"
Travel: 6" x 6"
Manual lifting platen
Z Movement controlled by chuck
MicroZoom optics zoom: 80-160X and 250-500X.
CASCADE MICROTECH/ALESSI REL 4300은 자동 웨이퍼 테스트를 위해 설계된 프로버입니다. 이 검사는 로직이나 메모리와 같은 웨이퍼 반도체 장치를 테스트하는 데 이상적입니다. 완전 자동화 처리 장비가 포함되어 있으며 프로그래밍 가능한 기능이 용이합니다. 프로버 (Prober) 는 다양한 전기 측정 도구를 갖추고 있으며, 높은 정확도와 반복성으로 테스트 결과를 측정 할 수 있습니다. ALESSI REL 4300 은 메인프레임, 웨이퍼 처리기, EMCS (다기능 전기 특성 시스템) 등 여러 구성 요소로 구성되어 있습니다. 메인 프레임에는 웨이퍼 핸들러 (wafer handler) 와 EMCS (EMCS) 가 있으며 웨이퍼 핸들러는 원하는 프로브 스테이션으로 웨이퍼를 운송 할 수 있습니다. EMCS에는 온도, 전압, 위상, 주파수 및 전류와 같은 다양한 전기 측정이 포함됩니다. 또한, 프로버에는 웨이퍼 정렬 장치 (wafer alignment unit) 와 소프트웨어 로딩 장치 (software loading machine) 도 함께 제공됩니다. 프로버는 또한 완전히 자동화되어 있습니다. 즉, 사용자 상호 작용을 최소화하면서 일련의 테스트를 실행할 수 있습니다. 광범위한 설정 (setting) 을 통해 복잡한 절차를 완료하도록 프로그래밍할 수 있습니다. 또한, 프로버 (Prober) 는 다차원 특성, 통계 분석, 제품 처리 등 다양한 소프트웨어 도구를 사용하여 정확성과 반복성을 보장하기 위해 감사 프로세스를 갖추고 있습니다. 테스트 기능 측면에서 CASCADE MICROTECH REL 4300 Prober는 단일 세션에서 여러 웨이퍼 위치를 테스트할 수 있습니다. 세션당 최대 100 개의 웨이퍼 사이트를 테스트 할 수 있으며, 테스트 정확도는 0.25 미크론입니다. 또한, 프로그래밍 가능한 기능을 통해 Prober는 여러 사이트에서 동시 측정 및 테스트를 수행 할 수 있습니다. 테스트 절차에는 보정 된 임계 전압 및 깊이 프로파일링도 포함되며, 다양한 테스트 플랫폼과 통합 할 수 있습니다. 전반적으로 REL 4300 Prober는 웨이퍼 반도체 장치에 대한 다재다능하고 신뢰할 수있는 테스트 솔루션입니다. 광범위한 전기적 측정 (electrical measures) 과 결합된 자동 처리 (automated handling) 및 프로그래밍 가능 (programmable) 기능을 통해 다양한 애플리케이션에 적합합니다. 또한, 세션당 여러 사이트를 테스트하는 기능을 통해 빠르고 정확한 결과를 얻을 수 있으며, 따라서 WAFE (Automated Wafer Testing) 요구 사항을 충족할 수 있습니다.
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