판매용 중고 ACCRETECH / TSK UF 3000 #9354561

ACCRETECH/TSK UF 3000은 반도체 부품을 검사하고 테스트하기 위해 반도체 산업에 사용되는 모든 기능을 갖춘 전문가입니다. 이 검사는 생산 수준 조사, 평가 및 미세 조사, FIB 단면 분석, 웨이퍼 매핑, TEM 샘플 준비 등 광범위한 분석 기능을 제공하도록 설계되었습니다. TSK UF 3000은 샘플 스테이지, 이온 빔 컨트롤, 웨이퍼 매핑 소프트웨어 및 웨이퍼 정렬 제어를 포함한 여러 모듈로 구성됩니다. 샘플 스테이지는 하드 (hard) 및 소프트 (soft) 샘플 처리를 위해 설계되었으며 단계별 UV 광원 (옵션) 이 제공됩니다. wafer 매핑 소프트웨어는 인체 공학적 사용자 인터페이스 (ergonomic user interface) 와 고속 데이터 획득 알고리즘을 통해 빠르고 정확한 실시간 매핑을 지원합니다. 웨이퍼 정렬 컨트롤에는 자동 레벨, 축 정렬, 보상 등의 피쳐가 포함됩니다. 이 프로버에는 고정밀 XY 드라이브 장비와 함께 제공되는 이온 빔 제어 모듈도 포함되어 있습니다. 이 시스템은 대용량 디플렉션 장치, 고정밀 hitless XY 및 Z 컨트롤, 고속 스캐닝을 지원하는 Sample-on-the-fly 기능을 갖추고 있습니다. 이온 빔은 깊은 트렌치 이미징, 횡단면 및 레이어 에칭에 사용할 수 있습니다. 또한, 기계는 샘플 보호를위한 빠른 충전 보상 도구도 사용합니다. ACCRETECH UF3000에는 미세 조사 및 고해상도 TEM 샘플 준비를 위해 설계된 FIB (Focused Ion Beam) 단면 분석 모듈도 포함되어 있습니다. 이 자산을 사용하면 뒷면 에칭, 뒷면 스테이지 리프트 오프, 단방향 리프트 오프, 박막 에칭 등 다양한 샘플 준비 옵션을 사용할 수 있습니다. 마지막으로 UF3000 Prober는 포괄적인 환경 모니터링 기능도 제공합니다. 여기에는 진동 감지 및 분석, 온도 및 습도 모니터링이 포함됩니다. 이를 통해 일관된 결과를 얻을 수 있으며, 모든 측정은 최적의 조건에서 수행됩니다.