판매용 중고 ACCRETECH / TSK UF 3000 #293621724
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ID: 293621724
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2006
Wafer prober, 12"
Process: V5400 Hot air
Load port
ATT A300T Air cooled chuck
X,Y Overall accuracy: ±2.0 µm (Temperature stability: ±1°C)
X,Y Stage accuracy: ±1.0 µm
Z Axis stroke (Applicable stroke): 37 mm
Z Axis control accuracy: ±2 µm
Stage durability: 200 kgf
Does not include Hard Disk Drive (HDD)
Power supply: 120 AC, Single phase
2006 vintage.
ACCRETECH/TSK UF 3000은 종합 웨이퍼 테스트를 위해 설계된 3 축 프로버입니다. 이 프로버는 300mm 스테이지, 고해상도 선형 스케일, 최대 8 "의 대형 웨이퍼 용량을 갖추고 있습니다. 이 시스템은 와퍼 백사이드 (wafer backside), 에지 (edge) 및 노치 테스트 (notch testing) 및 완전한 전기 및 물리적 특성 테스트를 처리하도록 설계되었습니다. TSK UF 3000의 300mm 스테이지는 1äm에서 200mm/s까지 정확한 고속 스캔이 가능합니다. 또한 웨이퍼 뒷면 테스트를 위해 현미경 전계 확장을 정확하게 측정 할 수 있습니다. 이 시스템은 우수한 기능 인식, 과도한 노출 방지, 고해상도 패턴 인식 (High Resolution Pattern Recognition) 을 통해 백사이드, 엣지 및 노치 테스트를 정확하게 이미지화할 수 있습니다. 프로버는 와플 팩 (waffle pack) 및 DOB 캐리어 (carrier) 와 같은 여러 웨이퍼 장착 솔루션을 갖추고 있으며, 둘 다 프로버의 열 환경이 일관되고 안정적이도록 설계되었습니다. 또한, 프로버에는 두 가지 샘플 변경 시스템이 장착되어 있습니다. 첫 번째는 카세트 샘플 체인저 (cassette sample changer) 로, 카세트에서 샘플을 자동으로 로드하고 언로드할 수 있습니다. 두 번째는 진공 기반, 자기 리프팅 샘플 홀더로, 테스트 중 더 빠른 웨이퍼 교환과 더 큰 안정성을 제공합니다. ACCRETECH UF3000은 다양한 유형의 장치 및 웨이퍼 유형을 처리할 수 있으며, 3 "~ 8" 의 다양한 웨이퍼 크기를 처리 할 수 있습니다. 또한 조정 가능한 조작 범위 (Manipulation Range) 와 단계 (Step) 를 통해 사용자가 테스트 프로세스와 설정을 사용자 정의할 수 있습니다. 또한 이 시스템은 다양한 테스트 장비 (Test Equipment) 와 호환되므로 다양한 애플리케이션에 액세스할 수 있습니다. 전반적으로 ACCRETECH UF 3000은 다양한 테스트 요구 사항 및 장치 유형을 처리하도록 설계된 고급 3 축 프로버입니다. 여기에는 정확한 스캔, 웨이퍼 장착 솔루션, 자동 샘플 교환, 여러 테스트 장비와의 호환성 등이 포함됩니다. 이 제품은 정확성과 안정성을 고려하여 설계되었으며, 대부분의 유형의 디바이스를 테스트하는 데 이상적인 솔루션입니다.
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