판매용 중고 ACCRETECH / TSK UF 3000 #293621712
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ID: 293621712
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2006
Wafer prober, 12"
Process: V5400 Hot air
Load port
ATT A300T Air cooled chuck
X,Y Overall accuracy: ±2.0 µm (Temperature stability: ±1°C)
X,Y Stage accuracy: ±1.0 µm
Z Axis stroke (Applicable stroke): 37 mm
Z Axis control accuracy: ±2 µm
Stage durability: 200 kgf
Does not include Hard Disk Drive (HDD)
Power supply: 120 AC, Single phase
2006 vintage.
ACCRETECH/TSK UF 3000은 집적 회로 장치 웨이퍼에 대한 테스트 및 Probe 진단을 모두 수행하도록 설계된 Precision Prober입니다. TSK UF 3000 Prober는 다양한 고급 (Advanced) 기능과 견고한 설계를 갖추고 있어 업계 최고의 처리량 및 조사 정확도를 제공합니다. 프로버 (Prober) 는 내구성이 뛰어난 재료로 구성되어 있으므로 수년간 안정적인 운영을 보장합니다. Prober의 정렬 정확도는 ± 1.5äm이며, 정확한 장치 테스트 및 진단을 제공합니다. 스테이지 크기는 20 "x20" 이며, 뛰어난 안정성으로 큰 웨이퍼를 조사하기위한 충분한 영역을 제공합니다. 이 프로버는 충격 (shock) 을 흡수하고 작동 중 정확한 위치를 유지하여 측정 오류를 줄일 수 있습니다. ACCRETECH UF3000 Prober는 고속 테스트 및 진단을 지원하는 다양한 기능으로 설계되었습니다. CEOS (Compact Electro-Optic Equipment) 는 장치의 ON/OFF 값을 감지하는 반면, 고급 셀 프로파일링 기능은 셀 테스트를 용이하게 합니다. 프로버에는 동시 고속 테스트 및 온도 조절을 지원하는 열 센서가 있습니다. TSK UF3000 Prober는 정확한 테스트 및 조사를 위해 고성능 비전 시스템을 갖추고 있습니다. 여기에는 5 축 비전 유닛, 다양한 테스트를 지원하기 위해 웨이퍼, 고해상도 이미징 및 빠른 광학 인덱싱을 신속하게 처리하기위한 대규모 채널 (CHAT) 기능이 포함됩니다. 또한, Vision Machine에는 최적의 이미지 정확성과 장치 발견에 대한 시각적 피드백을 위한 자동 초점 및 자동 중심이 포함됩니다. 전기 프로브 측면에서 UF3000 프로버는 핀 드라이브, 진공 (vacuum) 및 고조파 공명 프로브 (harmonic resonance probing) 를 포함한 다양한 구성을 지원합니다. 이러한 시나리오를 통해 테스트된 장치에 따라 사용자 지정 전기 프로브를 수행할 수 있습니다. 전기 기계 테스트 헤드 (electromchanical test head) 는 기계적 강성이 향상된 광범위한 설계 장치를 처리하여 정확한 프로브를 가능하게합니다. ACCRETECH UF 3000 Prober는 다양한 접속 옵션과 다양한 소프트웨어 패키지를 제공하여 운영 환경에 효과적으로 통합할 수 있습니다. 호환되는 소프트웨어 패키지에는 고급 제어 기능과 웹 인터페이스를 통한 원격 액세스를 제공하는 Florin Prober Controller 및 Florin Connect가 포함됩니다. 실시간 모니터링을 위해 기본 제공되는 도량형 (Metrology) 기능 모듈도 있습니다. 이 모듈을 사용하면 운영 환경에서 도구의 성능에 액세스할 수 있습니다. 전반적으로 ACCRETECH/TSK UF3000 Prober는 엄격한 생산 테스트 및 Probing 응용 프로그램을 위해 설계된 안정적이고 정교한 Prober입니다. 견고한 디자인과 정교한 기술 기능으로 인해 시장에서 최고의 프로버 (Probers) 중 하나입니다.
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