판매용 중고 ACCRETECH / TSK UF 200SA #9283882
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ID: 9283882
빈티지: 2005
Prober
Platform: J750 / J750EX
Floppy Disk Drive (FDD)
Magneto Optical (MO) Disk
Hard Disk Drive (HDD)
Control rack:
Z-Axis driver
XY Servo drivers
Power control board
Video interface board
Power supply: (2) 24 V, 12 V, -12 V, 5 V, 48 V
VME Rack:
Slot / Board
Slot 1 / Master CPU
Slot 4 / VGA Card
Slot 5 / VGA Card
Slot 6 / COGNEX Board
Slot 8 / PIO Board
Slot 10 / GPIB Board
Slot 11 / 5-Channel PGEN board
Slot 13 / -
Slot 14 / DISP Sensor
Slot 15 / -
Slot 16 / Slave CPU
Slot 17 / Loader I/O
Slot 18 / Loader PGEN
Read side:
Driver board
F-Server driver
Theta server driver
(2) Fans
Loader side:
Loader driver board
OCR Camera
Loader sensor board
Loader axis board
Cassette cover
Elevator motor driver
Sub-chuck rotation motor driver
Turntable motor driver
(2) Transfer motor driver arms
Pre-alignment sensor
(2) Arms
Sub-chuck
Inspection tray
Temperature controller
Elevator / Clamper
Chuck top
Z-Unit
(2) XY Axis screw and motors
F-Axis screw
E1, E2 Camera module
Touch panel
Keyboard and joystick
Keyboard control board
Alarm lamp pole
Hinge: 300L
Miscellaneous:
Free stopper (Cassette cover)
Valve
Tie rod for loader / Main body
2005 vintage.
TSK/Tsubaki-UFS 200SA Prober는 전기 및 기계 측정에 사용되는 업계 최고의 자동 레이저 간섭계 프로버입니다. 이 장비는 초저속 Z축 프로파일을 갖춘 고해상도 측정 헤드 (High-resolution measuring head) 로 설계되었으며, 반도체 웨이퍼 및 관련 부품을 테스트하고 측정하는 데 탁월한 정확성과 정밀도를 제공합니다. ACCRETECH/TSK UF 200SA Prober는 높은 정확도의 레이저 간섭계를 사용하여 반도체 웨이퍼 두께, 평면도, 평면 및 활의 가장 작은 변형을 뛰어난 정확도와 정밀도로 측정합니다. 이 시스템은 또한 새로운 3 차원 정렬 기술과 다중 드라이브 장치 (Multiple Drive Unit) 를 갖추고 있으며, 다양한 기판 및 반도체 웨이퍼에서 높은 정확성과 반복 성을 측정 할 수 있습니다. 또한, 통합 자동 초점 머신 (autofocus machine) 을 사용하면 웨이퍼 표면의 작은 세부 사항을 높은 정확도와 반복 가능성으로 측정 할 수 있습니다. TSK UF200SA Prober는 설치 공간이 작아 붐비는 실험실 환경에서 사용할 수 있습니다. 또한 총 8 개의 증분 인코더가 특징이며, 웨이퍼 불균형을 감지하고 자체 교정 (self-calibrate) 하여 샘플에서 샘플까지 최고의 정확성과 반복 성을 보장합니다. 또한, 이 도구는 통합 자동 보정 (auto-calibrate) 기능을 제공하여 상호 연결된 장치 (Interconnected and Misaligned Device) 의 측정 정밀도를 높일 뿐만 아니라, 광범위한 기계적 범위와 향상된 작동 속도를 제공합니다. ACCRETECH UF 200 SA Prober는 고정밀도 공차, 웨이퍼 라이닝, 웨이퍼 워핑 (wafer-warping) 수정 소프트웨어 등 효율적인 작동을 위한 여러 소프트웨어 패키지를 장착하여 높은 정밀도 판독값을 보장합니다. 이러한 소프트웨어 패키지를 통해 Prober는 샘플 및 조건의 변화를 자동으로, 정확하게 조정할 수 있으며, 정확성과 반복성이 크게 향상됩니다. UF 200 SA 프로버 (UF 200 SA Prober) 는 반도체 제조를 위한 강력한 도구로서, 작은 공간으로 업계 최고의 정확성과 반복성을 제공하여 까다로운 실험실에 이상적인 선택입니다. 컴팩트하고 안정적이며, 고정밀도 (high-precision) 와 빠른 측정 (quick measurements) 모두에 적합하며 뛰어난 성능과 효율성을 제공합니다.
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