판매용 중고 ACCRETECH / TSK UF 200 #9130630
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ACCRETECH/TSK UF 200 prober는 반도체 웨이퍼의 전기 특성을 얻는 데 사용되는 자동 프로빙 장비입니다. 프로버는 저항성, 캐리어 이동성, 게이트 전압 및 고장 전압의 초정밀 측정을 위해 설계된 고급 비 접촉 프로브를 사용합니다. TSK UF 200 prober는 매우 정밀한 측정을 위해 설계되었으며, 각도 정렬 정확도 1m와 함께 ± 0.03 ° m/s2의 가속도를 감지 할 수 있습니다. 프로버 (Prober) 의 내부 환경은 웨이퍼에 대한 환경 영향을 줄이기 위해 높은 압력으로 유지됩니다. 시스템에는 웨이퍼 정렬을 보장하는 비접촉 레이저 정렬 장치도 있습니다. 프로버에는 단일 축 조작기 암 (single-axis manipulator arm) 이 장착되어 있으며, 프로브를 두 방향으로 움직일 수 있습니다. 하나는 X축과 Y축, 다른 하나는 Z축입니다. 프로버의 정밀도는 빠른 속도와 정확성을 보장하는 AC 서보 모터 (AC servo motor) 를 사용하여 얻는다. ACCRETECH UF200 prober의 최대 프로빙 속도는 0.3 ° m/s이며 최대 이동 거리는 100mm입니다. 프로브에는 고해상도 비 접촉 테이프 피더 (non-contact tape feeder) 와 웨이퍼를 고정하는 진공 척 (vacuum chuck) 이 있습니다. 이 기계에는 자동 프로브 교환과 자체 테스트 도구가 포함되어 있습니다. 이 자산에는 전면 패널 LCD 디스플레이, 사운드 및 경보 모델, 장비 모니터링 및 오류 확인, 실시간 데이터 분석 등 다양한 기능과 기능이 있는 통합 데이터 획득 장치 (Integrated Data Acquisition Unit) 도 포함되어 있습니다. Prober는 또한 저장된 데이터 시퀀스 라이브러리 (Library of stored data sequence) 를 특징으로하며, 복잡한 Probe 테스트 시퀀스를 설정하고 회수할 수 있습니다. 프로버는 다양한 웨이퍼 크기와 유형과 호환되며, 금도금 웨이퍼 (wafer) 와 같은 특수 웨이퍼 (wafer) 와 사각형 (square) 과 같은 특수 모양을 수용 할 수 있습니다. ACCRETECH/TSK UF200 Prober는 고도로 전문화된 시스템으로, 정확한 생산 테스트 및 자동 데이터 수집을 위해 설계되었습니다. 이는 반도체 장치의 정밀 제조가 필요한 산업에 이상적입니다.
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