판매용 중고 ACCRETECH / TSK MHF 300L #293664535
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ACCRETECH/TSK MHF 300L은 박막 재료의 특성화 및 기탁을 위해 설계된 고급 전문가입니다. 반도체 소자와 기판의 속성을 평가하는 데 사용되는 고정밀 기기입니다. 이 프로버에는 즉석 패치를위한 선형 드라이브 모터 시스템 (Linear-Drive Motor System) 과 도달하기 어려운 위치에 액세스하기위한 3 축 조작기 (Manipulator) 가 장착되어 있습니다. 이 프로버에는 직경이 300mm 인 웨이퍼를 수용하는 300mm 웨이퍼 테스트 챔버가 포함되어 있습니다. 방은 열 소음을 제거하기 위해 분리되어 있으며, 정확한 측정을 위해 우수한 진공 안정성을 제공합니다. 프로버는 또한 재료의 높은 동적 특성화가 가능한 3 축 가속 테이블을 특징으로합니다. 프로버의 고해상도, 힘 감지 프리 텐셔너는 섬세한 도구와 웨이퍼를 정확하게 처리합니다. 정확도가 높은 단어 회전 측정이 가능한 비 접촉 전기 부품으로 설계되었습니다. 이 프로버에는 온도, 압력, 가벼운 센서 등 다양한 센서가 장착되어 있습니다. 온도 센서는 -35 ° C ~ 150 ° C 범위의 온도 측정에 적합하며, 마이크로 프로세서 환경에 적합합니다. 광센서는 최대 4 개의 광학 파장을 감지하여 투명 재료 특성 (material properties) 과 특성을 분석하는 데 도움이 됩니다. 압력센서 (pressure sensor) 는 재료에 가해지는 압력의 양을 감지하여 테스터와 샘플 사이의 접촉력 (contact force) 을 정확하게 측정합니다. 이 Prober는 TSK MHF 소프트웨어를 포함한 다양한 테스트 소프트웨어와 호환되며, 여기에는 다양한 특성 (Characterization) 작업을 다룰 수 있는 모든 기능이 포함되어 있습니다. 또한 자동화된 데이터 분석 및 보고를 위한 통계 데이터 분석 시스템을 제공합니다. 프로버 (Prober) 가 수집 한 데이터는 자세한 보고서를 생성하여 반도체 재료의 특성을 결정하는 데 사용될 수있다. 요약하자면, TSK MHF300L은 박막 재료 특성 및 침착을 위해 설계된 고정밀 전문가입니다. 더욱 빠르고 정확한 특성화 결과를 얻을 수 있도록 다양한 기능이 내장되어 있습니다 (영문). 프로버 (Prober) 는 다양한 센서를 갖추고 있으며, 다중 테스트 소프트웨어와 호환되므로 연구/상용 어플리케이션 모두에 이상적인 선택입니다.
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