판매용 중고 ACCRETECH / TSK APM-90V #9314145
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ID: 9314145
웨이퍼 크기: 4"-8"
빈티지: 1996
Probe station, 4"-8"
Hot chuck
Vacuum chuck: Nickel plated
Needle polish: Circle
No SACC
CPU Type: MVME 147S-1
Overall accuracy: Within 5 um
Fine alignment: CCD ITV Image processing
Hard disk: 3.5" 2HD (1.4M)
Display: 10.4" TFT Color LCD
X/Y-Axis:
Probing area: ±120 mm
Maximum speed: 200 mm/s
Z-Axis:
Full stroke: 34 mm
Maximum speed: 35 ms / 0.5mm Stroke
Θ-axis:
Rotation range: ±5°
Loader:
Casette mounts: 1 (Right single top)
Wafer Handing: Robot arm / Backside holding
Air supply:
Source pressure: 0.4 Mpa
Consumption: Approximately 0.1 liters / wafer
Vacuum supply: Less than -50 kPA , 30 l/min
Power consumption: AC 100V ± 10V, 50/60Hz, 1.5 kVA
Slot no / Board number / Board name
Slot 1 / MVME162 / Main CPU
Slot 2 / AVME-240 / Memory Board 128M
Slot 3 / - / EtherNet
Slot 4 / - / -
Slot 5 / TVME-322 FDC / SCSI / -
Slot 6 / - / -
Slot 7 / ITV / COGNEX4200
Slot 8 / FA0071A / Parallel In Out (PIO)
Slot 9 / FA0022C / XY Coordinater
Slot 10 / FA0037C / Sub - TTL / GPIB
Slot 11 / FA0139A / 5 Channels PGEN
Slot 12 / FA0132B / VGAC
Slot 13 / - / -
Slot 14 / FA0111 / CAP Sensor
Slot 15 / - / -
Slot 16 / AVME-115 / SLAVE CPU
Slot 17 / FA0013A / LD IO (Loader In Out)
Slot 18 / FA0014B / LD PGEN
1996 vintage.
ACCRETECH/TSK APM-90V는 웨이퍼 테스트, 측정 및 조사를 수행하도록 설계된 전문가입니다. 직경이 최대 200mm 인 웨이퍼에 적합하며 200 개 이상의 웨이퍼 유형을 처리 할 수 있습니다. 프로버에는 빔 슬라이딩, 멀티 존 (multi-zone) 및 멀티 존 진공 척 (multi-zone vacuum chuck) 이 장착 된 고속 웨이퍼 처리 장비가 있습니다. 척 (chuck) 은 효율적이고 안정적인 웨이퍼 홀딩을 제공하는 정적 동적 조합 설계를 특징으로합니다. 통합 열 제어 시스템은 프로빙 중 정확한 온도 및 반복 성을 보장합니다. 프로버 (Prober) 는 다이 패턴을 식별하고 측정 된 웨이퍼에 적합한 프로브 경로를 개발할 수있는 통합 시력 검사 장치 (Integrated Vision Inspection Unit) 를 갖추고 있습니다. 액티브 비전 머신 (Active Vision Machine) 은 데이터를 신속하게 분석할 수 있으며, 보다 정밀하게 테스트 시간을 단축할 수 있습니다. TSK APM-90V에는 자동 및 수동 (조이스틱) 모드 작동도 있습니다. 수동 모드에서 사용자는 조이스틱 (joystick) 을 사용하여 테스트 헤드를 미리 프로그래밍된 위치로 이동하고 교정, 조사, 측정, 다이 픽킹을 수행할 수 있습니다. 자동 (Automatic) 모드에서 사용자는 테스트 헤드의 이동을 프로그래밍하여 테스트 절차를 자동으로 최적화할 수 있습니다. 프로버 (Prober) 는 고급 레시피를 특징으로하며, 이를 통해 사용자는 특정 요구 사항에 따라 다른 테스트를 매개 변수화할 수 있습니다. 또한 결함 항목을 신속하게 식별 할 수있는 내장 장애 감지 도구가 있습니다. 데이터 획득 및 분석 기능은 내장형 Microsoft Windows 운영 자산 및 포괄적인 소프트웨어 프로그램 (Software Program) 으로 향상되었습니다. ACCRETECH APM-90V에는 직관적인 작동 인터페이스가 있으며, 다른 장비 및 주변 장치에 연결할 수 있는 인터페이스 세트가 함께 제공됩니다. 여기에는 그래픽 사용자 인터페이스, 이더넷/RS232 인터페이스 및 USB 포트가 포함됩니다. 또한 Prober는 모듈식 (Modular) 설계를 통해 필요에 따라 추가 구성 요소로 모듈식 (Customize) 을 구성하거나 업그레이드할 수 있습니다.
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