판매용 중고 ACCRETECH / TSK APM-90A #9236077

ACCRETECH/TSK APM-90A 프로버는 프런트 엔드 반도체 및 광전자 산업에 사용되는 다재다능하고 매우 정확한 프로브 장비입니다. 소형 장치 (small device) 기능을 빠르고 정확하게 측정하고, 정밀 웨이퍼 레벨 (precision wafer-level) 컴포넌트의 정렬 과정을 제어하도록 설계되었습니다. 이 시스템은 독립적으로 구동되는 x-y-y (각도 위치) 스테이지, 2 개의 초점 스테이지, ASU (자동 스테이지 유닛) 및 2 개의 접촉 프로브를 포함하여 최대 7 개의 축을 유지하는 일련의 경량 알루미늄 염기로 구축됩니다. 각 스테이지의 범위는 +/- 8.8 mm, 최대 속도는 10 mm/s, 힘 범위는 0-2.3 N 및 단계 크기는 0.01 µm입니다. 장치 깊이, 너비, 각도 및 에피 택시 (epitaxy) 와 같은 매개 변수에 대한 자동 분석을 가능하게하여 프로브를 정밀하게 정렬하고 측정할 수 있습니다. 프로버는 1600mm x 1250mm 광학 테이블을 사용하여 정밀한 정렬 및 낮은 왜곡 작업을 위해 안정적인 플랫폼을 제공합니다. 또한 평면 내 웨이퍼 정렬을위한 4 개의 디지털 카메라와 프로브 프로세스 동안 위치 피드백을위한 4 개의 인코더가 포함되어 있습니다. 컨트롤러는 최대 6 개의 독립 모터를 제어할 수 있으며, 이 모터는 정렬 (alignment) 및 프로브 (probing) 프로세스 동안 진동 노이즈를 줄이기 위해 설계되었습니다. 프로버 (Prober) 는 오류를 줄이고 수동 작업을 제거하도록 설계된 자동화된 웨이퍼 핸들러 (Wafer Handler) 장치와 통합됩니다. 기계는 웨이퍼 (wafer) 를 x, y 및 y 방향으로 최대 45mm까지 이동할 수 있으며, 진동 효과를 최소화하여 테스트 데이터에 영향을 줄 수 있습니다. 프로버 (Prober) 에는 개별 장치 테스트에 대해 구성 가능한 온보드 레이저 깊이 제어 (On Board Laser Depth Control) 가 포함되어 있으며 측정 정확도는 10nm입니다. 프로버에는 또한 다양한 측정에 대해 최대 12 개의 접촉 프로브를 제어 할 수있는 6 축 동작 제어가 포함되어 있습니다. 마지막으로, 이 Prober는 실제 운영 환경을 시뮬레이션하고 품질 (Quality) 성능을 보장하기 위한 일련의 현실적인 테스트 조건으로 설계되었습니다.