판매용 중고 ACCRETECH / TSK APM-90A #293633226

ACCRETECH/TSK APM-90A는 웨이퍼 측정 및 재료 표면 분석을위한 완전히 자동화 된 광학 전문가입니다. 독보적인 인체공학적 설계를 통해 간편한 로드, 언로드, 다중 구성 옵션을 제공합니다. TSK APM90A 에는 더 빠르고 정확한 측정에 높은 샘플링 속도를 제공하는 고급 프로브 헤드 (advanced probe head) 가 있습니다. 로봇 암은 안정적인 환경에서 순간적이고, 정확하고, 반복 가능한 웨이퍼 픽킹을 허용합니다. 고유 한 기능은 확장 된 응용 프로그램을 허용하는 "무장한 기능" 입니다. 통합 터치 센스 (touch-sense) 기술은 샘플과 접촉할 때 정확한 결과를 보장하는 동안 정확한 힘 제어를 제공합니다. 또한 고해상도 (High Resolution Optic) 기능을 통해 반복 가능하고 안정적이며 정확한 측정이 가능합니다. 레이저 스캐너는 초당 최대 100K 포인트의 빠른 스캐닝 속도를 제공합니다. 내장 포커스 컨트롤러는 안정적인 깊이 포커스를 제공하는 반면, piezo-z 스캐너는 최고 속도 (초당 5GHz) 의 고해상도 측정값을 제공합니다. 업계 최고의 1.2äm 폐쇄 루프 서보 모터는 와퍼 샘플과 웨이퍼 척 (Wafer Chuck) 의 3축 움직임을 정확하고 정확하게 제공합니다. 카드 제어 오픈 루프 XY 모션을 사용하면 최고 속도 300mm/s 및 가속도 1.8G의 부드러운 동작 제어가 가능합니다. 사용자가 직접 교체할 수 있는 블레이드는 블레이드 교체 비용을 최소화하며, 복잡한 애플리케이션을 위한 경제적인 솔루션을 제공합니다. 통합, 모듈식 이미징 패키지 및 분석 소프트웨어는 완전한 표면 분석 패키지를 제공합니다. 종합적인 이벤트 제어 시스템 (Event Control System) 은 초기 웨이퍼 프로브 (Wafer Probing) 에서 데이터 처리 및 측정 (Data Processing and Measuring) 에 이르기까지 대량의 프로세스를 자동으로 제어 및 관리할 수 있습니다. 안전을 위해 비상 정지 (Emergency Stop) 버튼도 통합되어 전원 차단 후 시동 상태를 복원합니다. ACCRETECH APM 90A는 웨이퍼 및 재료 표면에 대한 안정적이고, 정확하고, 효율적인 측정 및 분석을 제공하도록 설계되었습니다. 많은 양의 데이터를 빠르고 정확하게 분석하는 데 매우 효율적이며, 복잡한 (complex) 분석을 위한 탁월한 솔루션을 제공합니다.