판매용 중고 VEECO / ION TECH MPS-3000 HC #9196218

VEECO/ION TECH MPS-3000 HC는 다양한 마이크로 머신 응용 프로그램에 사용되는 고급 이온 밀링 장비입니다. 이 시스템은 미세한 규모로 재료에서 효과적으로 탈피하여 나노 스케일 구조, 형태 및 기타 기능을 생성합니다. VEECO MPS-3000 HC는 다양한 반도체 및 기계 처리 응용 분야에 적합합니다. 이 첨단 기술은 우수한 이온 절단 기능을 제공하며 우수한 결과를 낳습니다. 이온 테크 (ION TECH) MPS-3000 HC는 높은 빔 전류 밀도를 특징으로하며, 두 개의 개별 커팅 헤드가 회전 동작으로 움직이는 절삭 장치를 갖추고 있습니다. 기계는 고해상도로 크기보다 최대 1 유속 m 크기로 정확하게 에치 할 수 있습니다. 정확하고 정확한 결과를 얻기 위해, 이온 빔은 단단히 집중되고 순환되며, 프레임 속도는 매우 빠릅니다. 또한, 공구에는 여러 개의 스테이지가 있으며, 각 스테이지에는 각기 다른 재료, 마스크, etch 매개 변수를 적용하도록 구성할 수 있습니다. 이 자산에는 몇 가지 안전 기능도 포함되어 있습니다. 이온 빔 (ion beam) 은 웨이퍼에 도달하기 전에 조건화되고 흩어지며, 처리 중 웨이퍼 온도를 최소화합니다. 엔드 스테이션 (End Station) 에는 자동 웨이퍼 처리 (Automated Wafer Handling) 모델이 있어 웨이퍼에 대한 잘못된 정렬을 감지할 수 있으며 장비는 자동으로 잘못된 정렬을 보상합니다. 이렇게 하면 시스템의 웨이퍼 또는 기타 부품이 손상되지 않습니다. MPS-3000 HC는 다양한 프로세스 제어 기능도 제공합니다. 사용자는 원격 위치에서 장치에 명령을 실행할 수 있으며, 다양한 제어 매개변수 (control parameter) 를 사용자 정의할 수 있습니다. 또한, 이 시스템은 실시간 모니터링 및 데이터 로그 해석을 제공하여 프로세스 조정을 미세하게 수행합니다. 이는 장기 운영 실행에 대한 도구 성능을 유지하는 데 도움이됩니다. 이 자산은 또한 다양한 사용자 친화적 기능을 제공합니다. 직관적인 GUI 인터페이스를 통해 쉽게 이해하고 탐색할 수 있으며, 이 모델은 명확한 자습서와 유지 보수 (maintenance) 지원을 제공합니다. 또한, 장비에는 안전한 리모콘 (Remote Control) 이 장착되어 있어 사용자가 원격 위치에서 시스템 데이터에 액세스할 수 있습니다. 전반적으로 VEECO/ION TECH MPS-3000 HC는 다양한 마이크로 머신 응용 프로그램에 사용되는 고급적이고 강력한 이온 밀링 장치입니다. 절삭 기능, 정밀 제어 기능, 안전 기능은 다양한 반도체 처리 작업에 탁월한 결과를 제공합니다.