판매용 중고 SEMITOOL STI-15A-60V-4-AW #9351299
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SEMITOOL STI-15A-60V-4-AW 포토 esist 장비는 집적 회로 (IC) 제조를위한 신뢰할 수 있고, 전문적이며, 정확도가 높은 광자 에칭 솔루션을 제공하기 위해 설계된 혁신적인 도구입니다. 이 자동화된 시스템은 고전압 전원 공급 장치 (High-Voltage Power Supply) 와 소프트웨어 제어 식각 도구 (Software-controlled etching Tool) 를 페어링하여 업계에서 가장 높은 정확성과 반복성을 가진 주어진 크기의 웨이퍼 위에 여러 가지 에치 (etch) 기술을 사용합니다. STI-15A-60V-4-AW 장치는 고급 습식 프로세싱과 드라이 에칭 (dry etching) 의 조합을 사용하여 각 응용 프로그램에서 가능한 가장 정확한 에칭을 보장합니다. 첫째 로, "와퍼 '에 화학적" 아글루티네이트' 가 작용 하여 광물질 의 접착 을 촉진 시킨다. 그런 다음 웨이퍼는 일정한 고전압 (high-voltage) 에 노출되어 광화학 물질에서 광화학 반응을 유발합니다. 포토 esist가 전압에 노출 된 후, 웨이퍼는 초순수 화학 목욕에 의존하는 고급 습식 (advanced wet-etching) 방법을 통해 처리됩니다. 에칭 프로세스는 다른 웨이퍼 크기로 인해 에치 레이트의 차이를 고려하도록 최적화되었습니다. 다음으로, 드라이 에칭 (dry etching) 은 에칭 과정을 마치고 최종 유전층을 생성하는 데 사용됩니다. 이 건조 에치 공정 은 강렬 한 "플라즈마 '의 디지털화 된 버전 을 이용 하여 1" 미크론' 의 10 분 의 1 까지의 정확도 로 유전체 를 신속 하고 지성 있게 에치 한다. 에치 깊이 (etch depth) 와 원하는 유전체 두께 사이의 근접 공차를 사용하면 거의 완벽한 생산이 가능합니다. 마지막으로, 에칭 된 표면이 청소되고 추가 처리를 위해 준비됩니다. SEMITOOL STI-15A-60V-4-AW 머신의 동작을 제어하는 소프트웨어는 etch 시간, 전압 및 온도와 같은 매개변수와 도구에 마스크 입력을 정확하게 제어합니다. 또한, 통합 오류 수정 알고리즘은 자연적 (natural) 과 인적 (human error) 으로 인해 잘못 정렬되어 발생하는 문제를 줄이는 데 도움이 되며, 직관적이고 능률적인 그래픽 사용자 인터페이스를 통해 작업을 쉽고 효율적으로 수행할 수 있습니다. 전체적으로, STI-15A-60V-4-AW 포토 esist 자산은 다양한 크기의 웨이퍼 기판에 대한 유전층 생산에 대한 뛰어난 정밀도 및 반복 가능한 정확도를 제공합니다. 습식 (wet-etching) 과 건식 (dry-etching) 의 조합으로 프로세스를 더욱 효과적으로 제어할 수 있으며, 통합 소프트웨어 및 그래픽 사용자 인터페이스는 성공적인 운영 실행을 촉진하는 데 필요한 편리성과 유연성을 제공합니다.
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