판매용 중고 MKS / ASTEX FI20656-1 #293645389

ID: 293645389
Remote Plasma Source (RPS) LAM P/N: 27-149580-00.
MKS/ASTEX FI20656-1은 조사 및 변속기 시스템 등 반도체 업계의 여러 애플리케이션을 위해 설계된 고성능 전원 공급 장치입니다. 최대 10 킬로와트의 부하를 위해 최대 400V 및 600A의 조절 가능한 DC 전력을 제공 할 수 있습니다. MKS FI20656-1 고유의 설계를 통해 전체 전원 범위에서 전류 및 전압을 정확하게 제어할 수 있으며, 입력 전압 범위는 90 ~ 260 VAC입니다. 온도 컨트롤러 (내장) 는 주변 온도에 따라 출력 전압 및 전류를 조정하여 정합성 보장 (Consistent Power) 출력을 제공합니다. ASTEX FI20656-1은 반도체 프로세스의 안정적인 운영을 위해 견고하고 사용하기 쉬운 제어 시스템으로 설계되었습니다. 다양한 메뉴 및 버튼 세트가 있는 "디지털 제어판" 에서는 원하는 전압, 전류, 전원 설정 (power settings) 및 기타 작동 매개변수를 쉽게 선택할 수 있습니다. 또한 디지털 인터페이스는 전압 초과 (over voltage), 전류 (over current) 보호 및 전면 패널 디스플레이의 LED 표시기를 통한 출력 전원 모니터링 등 다양한 보호 기능을 제공합니다. 또한 FI20656-1은 독점 기술을 사용하여 고출력 공급 장치에서 일반적으로 발생하는 소음 및 소음 방지 (arcing) 를 최소화합니다. 고급 전자 부품은 EMI (Electro Magnetic Interference) 억제 기술을 사용하여 소음 수준을 낮게 유지하므로 소음 영역에서 작동하기에 이상적입니다. 이 장치에는 과부하가 발생할 경우 전원 공급 장치 (Power Supply Unit) 를 차단하는 퓨즈 보호 시스템 (Fuse Protection System) 도 장착되어 있습니다. 성능 측면에서 MKS/ASTEX FI20656-1은 전체 전력 범위에서 우수한 전력 조절 및 선형 응답을 제공합니다. 정밀 하중 및 회선 조절 (1% 미만) 및 온도 보호 (최대 100%) 가 특징입니다. 또한 고급 보호 (protection) 및 안전 (safety) 기능으로 장치의 안전한 작동을 보장하고 수명을 연장할 수 있습니다. 요약하자면, MKS FI20656-1은 반도체 업계의 애플리케이션을 위해 설계된 고급 전원 공급 장치입니다. 이 제품은 사용하기 쉬운 디지털 인터페이스, 정밀 로드/라인 규정, 뛰어난 소음 억제 기능을 갖추고 있습니다. 또한 고급 보호 및 안전 (Safety) 기능은 안전한 작동을 보장하고 장치의 수명을 연장합니다.
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