판매용 중고 ADVANCED ENERGY / RFPP RF-10S #95306

ID: 95306
빈티지: 1995
RF generator 208 VAC, 50 / 60 Hz, 15A 1995 vintage.
ADVANCED ENERGY/RFPP RF-10S는 반도체 산업의 무선 주파수 (RF) 및 플라즈마 프로세스를 위해 특별히 설계된 최첨단 전원 공급 장치입니다. 최신 RF 애플리케이션의 엄격한 요구 사항을 충족하는 고급 성능 및 정밀 제어 기능을 제공합니다 (영문). 이 전원 공급 장치는 반도체 제조에서 에칭, 증착, 표면 수정과 같은 다양한 RF 구동 플라즈마 프로세스를 구동하는 데 이상적입니다. RFPP RF-10S 의 주요 기능 중 하나는 고주파 (high-frequency) 작동 기능으로, 일반적으로 RF 플라즈마 프로세스에 사용되는 주파수에서 전원을 공급할 수 있습니다. 이 장치는 수 메가 헤르츠 (Methertz) 에서 수십 메가 헤르츠 (Metahertz) 범위의 주파수에서 작동 할 수 있으므로 프로세스 요구 사항에 따라 RF 전력을 정확하게 튜닝할 수 있습니다. 이러한 고주파 (high-frequency) 작동은 플라즈마로의 효율적인 에너지 전송을 보장하여 프로세스 성능과 생산성을 최적화합니다. ADVANCED ENERGY RF10S (ADVANCED ENERGY RF10S) 는 몇 와트에서 수 킬로와트 (KW) 까지 다양한 전력 출력 옵션을 제공하여 특정 프로세스 요구에 맞게 전력 공급을 조정할 수 있습니다. 이 장치는 고도로 안정적이고 안정적인 전원 출력을 갖추고 있으며, 고조파 왜곡 (harmonic distortion) 과 뛰어난 부하 일치 (load matching) 기능을 갖추고 있어 프로세스 조건에 따라 일관되고 균일한 플라즈마 생성을 보장합니다. ADVANCED ENERGY/RFPP RF10S의 또 다른 주목할만한 기능은 고급 제어 및 모니터링 기능입니다. 이 장치에는 사용자 친화적 인 인터페이스 (user-friendly interface) 가 장착되어 있어 운영자가 출력 전원, 주파수, 듀티 사이클 (duty cycle) 등 다양한 작동 매개변수를 정밀하게 프로그래밍하고 조정할 수 있습니다. 전력 출력, 반사된 전원, 임피던스 일치 (Impedance Match) 등 주요 성능 지표를 실시간으로 모니터링하여 최적의 프로세스 제어 및 효율성을 보장합니다. 또한 RF10S 는 RF 플라즈마 시스템에 손쉽게 통합할 수 있도록 설계되었으며, 넓은 설치 공간과 다양한 장착 옵션을 제공합니다. 이 장치에는 과전류 (Overcurrent), 과전압 (Overvoltage) 보호 등 다양한 안전 기능이 장착되어 있으며, 까다로운 산업 환경에서 안전한 운영을 보장하는 연동 기능이 있습니다. RF-10S 는 신뢰성과 장수성 면에서 고품질 구성요소를 활용해 제작해 반도체 제조시설의 "지속적 (continuous operation) '을 견뎌낼 수 있는 견고한 건축물이다. 이 장치는 유지 보수 요건이 낮고, 장기간 성능 안정성이 유지되도록 설계되었으며, 높은 수준의 처리 성능을 제공하는 경제적인 솔루션입니다. 전반적으로 ADVANCED ENERGY RF-10S 전원 공급 장치는 반도체 업계의 RF 플라즈마 프로세스에 대한 고급 기능, 정확한 제어, 안정적인 성능을 제공합니다. 고주파 작동, 전력 출력 유연성, 고급 제어 기능, 견고한 설계로 인해 최신 반도체 제조에 필수적인 고품질 RF 기반 플라즈마 공정 (Plasma Process) 을 추진할 수 있습니다.
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