판매용 중고 ADVANCED ENERGY RF 30S #9111631

ADVANCED ENERGY RF 30S는 플라즈마 에칭 및 박막 증착과 같은 많은 제조 프로세스에 필요한 일정하고 안정적인 RF (Radio Frequency) 전원을 제공하는 전원 공급 장치입니다. 안정성이 높고, 지속적인 출력 잠재력을 지닌 고성능 어플리케이션에서 작동하도록 설계되었습니다. 출력 전압 범위 (4KV ~ 15KV), 최고 전류 (350 µA) 및 최대 입력 전력 (800 W) 이 장착 된 ADVANCED ENERGY RF30S는 많은 응용 프로그램에 필요한 높은 전력을 제공 할 수 있습니다. RF-30S 전원 공급 장치는 다양한 보호 기능을 제공합니다. 공정 챔버 (Process Chamber) 의 지속적인 모니터링을위한 선택적 가스 흐름 모니터 (Gas Flow Monitor) 시스템과 함께 호와 플래시를 감지하는 통합 장비가 있습니다. 또한, 복잡한 기하학에 대한 향상된 필름 무결성 및 프로세스 반복성을 위해 고급 바이어싱 제어 (biasing control) 를 갖추고 있습니다. 전압 램프와 사용자 선택 가능한 소프트 스타트 타임 (soft start time) 은 종료 후 전체 피크 전류로 안전하고 점진적으로 돌아갑니다. ADVANCED ENERGY RF 30 S (고급 에너지 RF 30 S) 에는 프로세스 매개 변수에 대한 보다 많은 제어 및 사용자 정의 기능을 제공하는 고급 기능도 있습니다. 조절 가능한 주파수 범위 (13 - 70MHz), 최대 전력 (800W), 프로그래밍 가능한 자동 튜닝, 조정 가능한 펄스 길이 및 짧은 펄스 작동을 가능하게 하는 펄스 (pulse on time) 및 0.1 - 6 V/äsec에서 프로그래밍 가능한 슬리어 레이트를 통해 사용자는 프로세스 챔버에 전달되는 전력을 보다 잘 제어할 수 있습니다. RF 30 S 전원 공급 장치는 온도와 전압 (over voltage) 보호 기능이 내장되어 있으며, 손쉬운 장애 감지 및 문제 해결을 위한 경보 장치도 갖추고 있습니다. Windows 기반 소프트웨어와 호환되므로, 하나의 간단한 사용자 인터페이스를 통해 시스템을 완벽하게 제어할 수 있습니다. 또한 ADVANCED ENERGY RF-30S (고급 에너지 RF-30S) 에는 커다란 컬러 LCD 디스플레이가 있어 매개변수를 완벽하게 제어할 수 있으며 필요한 경우 그래픽 트렌드를 표시할 수 있습니다. 전반적으로 RF 30S는 산업 응용 프로그램의 전원 공급 장치에 적합한 선택입니다. 신뢰할 수 있는 성능, 고급 기능 (Advanced Feature) 옵션, 다양한 안전 (Safety) 기능을 통해 다양한 제조 프로세스에 이상적인 선택이 가능합니다.