판매용 중고 ADVANCED ENERGY / MKS FI80133 #293601250

ID: 293601250
Remote Plasma Source (RPS).
ADVANCED ENERGY/MKS FI80133은 PECVD 및 스퍼터링과 같은 박막 증착 프로세스를 위해 설계된 기술적으로 향상된 저소음 전원 공급 장치입니다. 이 장치는 전압 및 전류 범위 (0-800v 및 0-4000A) 가 넓어 고품질 박막 (Thin-film) 을 만드는 데 필요한 정확하고 안정적인 전원을 생산하는 데 적합합니다. 또한 전원 공급 장치는 저소음 (3mV 미만), 빠른 상승 시간 (500µs 미만), 높은 안정성 및 정확성, 조절 가능한 펄스 및 버스트 기능 등 다양한 이점을 제공합니다. MKS FI80133은 전압 초과/과전압, 과전류 장애 및 신속한 종료를 방지하는 기능을 갖추고 있습니다. 따라서 전원 공급 장치를 사용할 때 안전한 작동을 보장하고 안정성을 높일 수 있습니다. 고급 사용자 인터페이스 기능도 포함되어 있으며 4.3 인치 컬러 터치 스크린 디스플레이를 통해 액세스할 수 있습니다. 따라서 특정 프로세스에 대한 성능 매개 변수를 사용자 정의하고 성능을 신속하게 모니터링할 수 있습니다. 경보 상태, 날짜, 시간, 전원 공급 장치 자체에 대한 명령 생성 등을 위해 내부 PC 스토어도 포함되어 있습니다. 이 장치는 0.99 이상의 높은 전력 계수를 가지며, 특히 효율적인 전기 공급 업체입니다. 또한 저전압 입력 설계가 적용되었으며, 빠른 반응, 저전압 전원 트림 제어 (Power Trim Control) 기능을 통해 총 고조파 왜곡을 최소화하고 성능을 극대화합니다. 또한 전원 공급 장치는 온도 범위가 0 ° C ~ + 50 ° C, 최대 상대 습도가 80% 인 고효율 냉각 시스템을 갖추고 있습니다. 요약하자면, ADVANCED ENERGY FI80133은 박막 증착 공정을 위해 특별히 설계된, 고급적이고, 안정적이며, 효율적인 전원 공급 장치입니다. 여러 사용자 인터페이스 기능, 높은 전원 계수, 신속한 종료 보호, 온도 범위 제어 등을 갖추고 있습니다.
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