판매용 중고 YIELD ENGINEERING YES-15 #293765817
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YIELD ENGINEERING YES-15는 정확한 온도 조절 및 균일성이 중요한 반도체, MEMS 및 LED 제조 공정을 위해 설계된 고성능 오븐/퍼니스입니다. 이 컴팩트하고 다재다능한 장비는 최신 반도체 제작 프로세스의 까다로운 요구 사항을 충족하는 고급 (advanced) 기능을 제공합니다. YES-15 오븐/퍼니스는 웨이퍼 표면에서 우수한 온도 균일성을 보장하는 고온 수평 층류 설계를 갖추고 있습니다. 이 균일성은 일관된 처리 결과와 최적의 장치 성능에 필수적입니다. 이 시스템은 최대 1200 ° C의 온도에 도달 할 수 있으므로 어닐링, 치료, 산화, 확산 등 다양한 열 처리 응용 분야에 적합합니다. YIELD ENGINEERING YES-15 오븐/퍼니스의 주요 특징 중 하나는 고급 난방 기술로, 복사 가열 요소와 가스 대류 (gas convection) 의 조합을 사용하여 빠른 가열과 정확한 온도 제어를 달성합니다. 이 장치에는 여러 개의 독립 온도 영역 (independent temperature zone) 이 장착되어 있어 프로세스 단계에 따라 사용자정의된 열 프로파일을 사용할 수 있습니다. 이러한 유연성을 통해 사용자는 난방 (heating) 및 냉각 (cooling) 속도를 정확하게 제어할 수 있으므로 프로세스 결과를 최적화할 수 있습니다. YES-15 오븐/퍼니스는 또한 귀중한 웨이퍼를 보호하고 프로세스 중단을 방지하는 다양한 안전 기능을 제공합니다. 기계는 항상 안전한 작동을 보장하기 위해 과온 보호, 가스 누출 감지, 자동 차단 메커니즘을 갖추고 있습니다. 또한, 이 도구는 제조 환경에서 지속적인 운영 (continuous operation) 에 견딜 수있는 고품질 재료를 갖춘 견고한 구조를 갖추고 있습니다. 사용자 인터페이스 및 제어 측면에서, YIELD ENGINEERING YES-15 오븐/퍼니스는 직관적인 컨트롤이 포함된 사용자 친화적 인 터치 스크린 인터페이스를 제공하여 쉽게 작동 및 모니터링할 수 있습니다. 자산은 여러 프로세스 레시피를 저장하여 서로 다른 열 (thermal) 프로세스를 빠르고 쉽게 설정할 수 있습니다. 실시간 온도 모니터링 (Real-Time Temperature Monitoring) 및 데이터 로깅 (Data Logging) 기능을 통해 프로세스 매개변수를 추적하고 운영 실행에서 일관된 결과를 얻을 수 있습니다. YES-15 오븐/퍼니스는 유지 보수 및 서비스 용이성을 위해 설계되었으며, 빠른 교체 및 교정을 위해 액세스 가능한 구성 요소를 제공합니다. 이 모델은 또한 비활성 가스 제거 (inert gas purging) 및 진공 펌핑 (vacuum pumping) 을 포함한 다양한 대기 제어 옵션과 호환되므로 광범위한 프로세스 요구 사항을 지원합니다. 전반적으로 YIELD ENGINEERING YES-15 오븐/퍼니스는 반도체 및 관련 산업을위한 다재다능하고 신뢰할 수있는 열 처리 솔루션입니다. 고성능 기능, 고급 난방 기술, 사용자 친화적 인터페이스 (YES-15) 를 통해 열 프로세스를 정확하게 제어하여 고품질 결과와 반도체 제조 작업의 생산성 향상을 보장합니다.
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