판매용 중고 VISION SEMICON VSP-88H #9290575

VISION SEMICON VSP-88H는 고급 PVD (physical vapor deposition) 공정을 위해 설계된 고온 스퍼터 증착 오븐입니다. 최대 1000 ° C의 온도와 얇은 재료를 증착 할 수있는 고급 용광로 (Advanced Furnace) 입니다. VSP-88H (VSP-88H) 는 금, 은, 구리 및 기타 고귀한 금속의 박막 증착과 반도체 산업의 많은 응용을위한 다양한 재료의 증착에 적합하다. VSP-88에는 단단한 스테인리스 스틸 작업 챔버 (stainless steel work chamber) 가있는 원통형 스테인리스 스틸 하우징 (stainless steel housing) 이 있으며 균일 한 가열을위한 아크 용접 기술을 사용하여 제작됩니다. 전기식 리프팅 (lifting) 플랫폼을 장착하여 최대 목표 무게가 13 파운드 (약 13 파운드) 인 최대 8 인치 (직경) 의 목표를 보유합니다. 퍼니스는 또한 챔버의 정확한 온도 제어를 위해 자동화 된 컨트롤러를 갖추고 있습니다. 가열된베이스 플레이트로, VISION SEMICON VSP-88H는 리프트 플랫폼에서 직경이 최대 10 "인 기판을 가열하고 제어하는 데에도 적합합니다. 이 제어 환경을 사용하면 정확한 대상 (Target to Substrate) 정렬을 위한 높이, 기울기 및 회전 조정이 가능합니다. VSP-88에는 온도 범위, 스퍼터 파워, 가스 흐름 속도, 기판 직소, 스퍼터 프로세스 시간 및 기타 프로세스 매개 변수를 제어 할 수있는 직관적인 터치 스크린 인터페이스가 있습니다. 이 컨트롤러에는 과열 (over-temperature) 및 저온 (low-temperature) 경고용 경보 기능과 유해 상태로부터 보호하기 위한 내장 열 안전 연동장치가 장착되어 있습니다. 오븐에는 다이어프램 진공 펌프 (diaphragm vacuum pump) 가 장착되어 있으며, 5 x 10-3 Torr 미만의 압력 수준을 유지할 수 있으며 콘솔에서 조절 할 수 있습니다. 또한, 고주파 부동 전원 공급 장치가 장착되어 있으며, 균일 한 고품질 필름으로 기판에 금, 은, 구리 스퍼터링이 가능합니다. 전반적으로, VSP-88H (VSP-88H) 는 다양한 재료 기판에서 박막을 안정적이고 일관되게 증착하도록 설계된 기술적으로 고급 고온 스퍼터링 증착 오븐입니다. 다양한 온도 범위와 고급 제어 (Advanced Control) 기능을 갖춘 이 제품은 반복 가능하고 정확한 박막 PVD 프로세스를 수행하는 데 효과적인 도구입니다.