판매용 중고 VISION SEMICON VSP-88H #9122513
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ID: 9122513
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 2005
Plasma cleaners, 8"
Vacuum pump: 1560L/min oil rotary pump with 300ß©/h booster
Gas flow controller: Mass flow controller
Internal chamber dimension: W 580mm x H530mm x D580mm
Electrical power: 200 VAC, 3 Phase, 30A
Loading capacity: (8) Magazines
PC Based main control: Windows XP & C++ Language
TFT LCD Touch screen
Power source: RF Generator, 13.56MHz, 600W
2005 vintage.
VISION SEMICON VSP-88H는 반도체 제조 산업에서 사용하도록 설계된 오븐/퍼니스입니다. 다재다능하고 견고한 장비로, 뛰어난 온도 균일성과 반복성이 있습니다. 온도 범위는 최대 1200 ° C이며, 조정 가능한 램프 속도는 최대 60 ° C/min 프로그래밍이며, 고온에서 빠른 복구 시간을 제공 할 수 있습니다. VSP-88H는 프로그래밍 가능한 자동 제어 장비를 갖추고 있으며, 프로세스 제어, 품질 보증, 지능형 데이터 테이블, 데이터 로깅을 위해 설계되었습니다. 온도 균일성 및 반복성은 고급 PID 보상 시스템을 사용하여 유지됩니다. 또한 실험을 추적 및 관리하기위한 고급 소프트웨어가 장착되어 있습니다. VISION SEMICON VSP-88H 오븐/퍼니스의 디자인 기능에는 델타 T (delta T) 기술이 포함되어 있습니다. 델타 T 기술은 오븐 챔버 주변의 견고하고 단단한 벽돌로 구성되어 정확한 열 제어를 허용합니다. 또한 안전을위한 연동 기계가있는 전신 절연 장치 (full-body insulation unit) 와 저 누출 밀폐 도어가 있습니다. 또한, VSP-88H에는 챔버의 빠른 냉각을 허용하는 딥 냉각 도구가 있습니다. 이것은 열 영역이 매우 높은 온도에 도달하면 열 충격을 방지합니다. 또한 고급 타이머 에셋, 진공 물개 모델, 컴퓨터 화 된 곡선 플롯을위한 컴퓨터 화 된 장비가 있습니다. VISION SEMICON VSP-88H 디자인은 정밀하고 균일 한 난방 제어를 위해 전파 분사 시스템 (full-wave injection system) 을 갖추고 있으며, 이는 고온 균일성과 반복성이 필요한 응용 분야에 적합합니다. 자동 안전 장치 (Automatic Safety Unit) 는 자동 안전 장치 (Detrimental Temple) 에 도달하면 전원 공급 장치를 차단하고 수동 안전 장치 (Manual Safety Machine) 를 사용하여 사용자가 도구를 제어하고 온도가 사전 설정된 수준 이상으로 상승하면 수동으로 차단합니다. 결론적으로 VSP-88H는 반도체 제작 산업을 위해 설계된 오븐/퍼니스입니다. 다용도 자동 제어 자산 (automated control asset) 과 더불어 고급 온도 균일성 (Temperature unifority) 및 반복성 (repeatability) 을 통해 다양한 어플리케이션에서 효율적이고 안정적인 사용을 가능하게 합니다. VISION SEMICON VSP-88H는 고급 타이밍 모델, 딥 냉각 장비, 진공 봉인 시스템 및 컴퓨터 화 플로팅 장치를 통해 일관된 결과를 보장하는 데 필요한 모든 기능을 갖추고 있습니다.
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