판매용 중고 VISION SEMICON VSP-88A(H) #9263258

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VISION SEMICON VSP-88A(H)
판매
ID: 9263258
웨이퍼 크기: 8"
Plasma cleaning system, 8".
VISION SEMICON VSP-88A (H) 는 반도체 장치 및 재료의 상용 고온 처리를 위해 설계된 오븐/퍼니스입니다. 온도 안정성이 ± 0.2 ° C 인 경우, 섬세한 웨이퍼 및 기타 재료에 대한 정확한 열 제어 기능을 제공합니다. VSP-88A (H) 는 저열 질량 가열 챔버 (low thermal mass heating chamber) 와 용광로 내부 전체의 열 분포에 대한 저열 저항 절연을 갖추고 있습니다. 가열된 챔버는 고급 스테인레스 스틸 (stainless steel) 로 만들어져 장기적인 내구성과 내식성을 제공합니다. 온도는 디지털 디스플레이 (최대 0.1 ° C) 로 모니터링하여 최적의 열 조절을 보장합니다. 또한 VSP-88A (H) 는 에너지 효율을 극대화하는 다중 구역 난방 시스템을 갖추고 있습니다. 이 다중 영역 기능은 뜨겁고 차가운 지점을 제거하여 챔버 전체에 균일 한 온도 분포를 제공합니다. 가열 요소는 molybdenum disilicide (MoSi2) 로 만들어져 최대 1200 ° C의 우수한 온도 안정성과 균일성을 제공합니다. VSP-88A (H) 는 재료 증착을위한 탑마운트 쿼츠 마이크로 밸런스와 자동 웨이퍼 테이프 로딩 및 언로딩을위한 샤프트 드라이브 시스템을 제공합니다. 사용자에게 친숙한 제어판에는 프로그래밍 가능한 온도 컨트롤러, 자동 복구 보호 시스템, 종합적인 안전 기능이 장착되어 있습니다. VSP-88A (H) 는 기질의 빠른 열 처리, 열 유도 클리닝 프로세스, 산화 처리 및 합금 프로젝트에 적합합니다. 빠른 응답 시간 (rast response time) 과 동적 온도 제어 (dynamic temperature control) 를 통해 소규모에서 대규모의 운영 배치에 이르는 다양한 애플리케이션에 필수적인 툴입니다. VSP-88A (H) 는 또한 균일 한 온도와 탁월한 온도 조절 안정성으로 안정적이고 지속적인 작동을 제공하여 고온 반도체 처리에 이상적입니다. 또한 다양한 난방 및 냉각 속도, 램프 업/다운 제어, 프로그램 선택 등 다양한 옵션을 제공합니다. 전반적으로 VISION SEMICON VSP-88A (H) 는 반도체 처리 응용 분야에 적합한 도구입니다. 고급 기능, 정밀한 온도 조절 (temperature control), 신뢰할 수 있는 작동 기능을 통해 우수한 프로세스를 통해 효율적인 방법을 구현할 수 있습니다.
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