판매용 중고 TOKYO ELECTRON Alpha 8SD #293819851

ID: 293819851
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 2001
Furnace, 8" No annealing / oxidation furnace 2001 vintage.
TOKYO ELECTRON Alpha 8SD는 반도체 및 전자 산업의 고온 처리 용도로 설계된 고급 오븐/퍼니스 장비입니다. 이 다용도 시스템은 다양한 프로세싱 요구 사항에 대해 정확한 온도 조절, 균일 한 가열, 안정적인 성능을 제공합니다. Alpha 8SD는 최첨단 기술 및 혁신적인 디자인 기능으로 유명한 TOKYO ELECTRON Alpha 시리즈의 일부입니다. 도쿄 전자 알파 8SD (TOKYO ELECTRON Alpha 8SD) 는 수직 챔버 설계로 웨이퍼 표면에서 효율적인 열 전달과 최소 온도 변화를 가능하게합니다. 또한 이 수직 구성을 통해 웨이퍼를 손쉽게 로드하고 언로드할 수 있으므로 전반적인 생산성과 처리량이 향상됩니다. 이 챔버 (chamber) 는 고온에서 우수한 열 단열과 안정성을 제공하는 고품질 재료로 구성됩니다. 알파 8SD (Alpha 8SD) 의 주요 특징 중 하나는 고급 난방 장치 (advanced heating unit) 로, 복사 및 대류 난방 요소의 조합을 사용하여 정확하고 균일 한 온도 분포를 달성합니다. 기계에는 여러 가열 영역 (heating zone) 이 장착되어 있어 웨이퍼 (wafer) 표면을 따라 온도 프로파일을 독립적으로 제어할 수 있습니다. 이 우수한 온도 제어는 공정 공차를 강화하고 고품질 반도체 장치를 생산하는 데 필수적입니다. TOKYO ELECTRON Alpha 8SD에는 정교한 온도 조절 도구 (setpoint control) 와 빠른 온도 증가 및 냉각 속도를 제공하는 정교한 온도 조절 도구가 장착되어 있습니다. 자산은 최대 1200 ° C의 온도에 도달 할 수 있으며, 산화, 확산, 어닐링, 증착 등 다양한 고온 프로세스에 적합합니다. 온도 조절 모델은 사용자에게 친숙한 터치 스크린 인터페이스 (touch screen interface) 와 상호 작용하여 운영자가 프로세스 매개변수를 쉽게 설정하고 모니터링할 수 있습니다. 고급 온도 조절 기능 외에도 알파 8SD (Alpha 8SD) 는 운영 중 인력과 장비를 보호하는 포괄적인 안전 장비를 갖추고 있습니다. 이 시스템에는 사고를 예방하고 안전한 운영을 보장하기 위해 여러 개의 인터 록 (interlock), 과도한 보호, 긴급 종료 기능이 장착되어 있습니다. 이 약실 에는 또한 "가스 '유동 조절 및 감시 장치 가 갖추어져 있어, 안정적 인 처리 환경 을 유지 하고," 가스' 누출 이나 축적 을 방지 한다. TOKYO ELECTRON Alpha 8SD (TOKYO ELECTRON Alpha 8SD) 는 필요에 따라 쉽게 교체 또는 업그레이드할 수 있는 모듈식 구성 요소로, 유지 보수 및 서비스 용이성을 위해 설계되었습니다. 이 장치에는 진단 도구 (Diagnostic Tools) 와 원격 모니터링 (Remote Monitoring) 기능이 장착되어 있어 다운타임을 최소화하고 장비 가동 시간을 최대화할 수 있는 사전 예방 유지 관리 및 문제 해결이 가능합니다. 또한 TOKYO ELECTRON (TOKYO ELECTRON) 은 포괄적인 기술 지원 및 서비스 프로그램을 제공하여 고객에게 안심하고 장비의 성능을 최적으로 보장합니다. 전반적으로, Alpha 8SD는 고급 기술, 정확한 온도 조절, 신뢰할 수 있는 성능을 결합하여 반도체 및 전자 산업의 까다로운 요구 사항을 충족하는 최첨단 오븐/퍼니스 머신입니다. 혁신적인 설계 기능, 탁월한 온도 조절 기능, 종합적인 안전 도구를 통해 품질과 신뢰성이 가장 중요한 고온 처리 (high-temperature processing) 어플리케이션에 적합합니다.
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