판매용 중고 THERMAL TECHNOLOGY SAS-2000 #293597792
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ID: 293597792
빈티지: 2014
High temperature furnaces
Heating system power leads: Water cooled 350 MCM Size
Operating temperature: 2200°C
Hot zone operating temperature uniformity: ±2°C
Maximum change weight: 1000 Ibs
Vacuum level: 10 Torr
Horizontal
Front loading with motorized hinge front door
Automatic pneumatic clamping
Manual opening rear door
System frame / mezzanine suitable for clean room integration
Double wall water cooled stainless steel chamber
Doors and pump line
Metal shielded hot zone: Tungsten / Molybdenum shields
Diffusion pumped, 10"
With mechanical roughing pump
Water cooled inlet baffle
Technical:
Chamber materials:
304 L
Polished interior surfaces
Chamber ports:
Electrode ports: 24 on chamber, 3 on each door
Thermocouple and spare:
(18) NW16 on chamber
(2) Door
NW40 on pump line
Heaters: Tungsten mesh panels
Hot zone effective size: 16" x 16" x 36" (5+ cu ft)
Control system: Siemens PLC based
Heating zones:
(6) Top
bottom
(2) Sides
(2) Ends
Safety, Alarms, Interlocks:
Vacuum
Water flow
Air pressure
Over temperature
Single enclosure:
(4) 70 KVA transformers
(2) 35 KVA transformers
Thermocouples:
(6) Types C Control
Type C Over temperature
Vacuum gauge:
1000 Torr
Cold
Pump down (Clean and dry chamber):
45 Minutes to 5 m torr
Gas system:
(3) Circuits: Nitrogen
Argon
Hydrogen
With mass flow controller, VCR Connection
Cooling water circuit:
(24) Active
(3) Spares
With flow and temperature monitoring
Top zone 70 kVA with 10 and 12 volt taps
Bottom zone 70 kVA with 10 and 12 volt taps
Left zone 70 kVA with 18 and 21 volt taps
Right zone 70 kVA with 18 and 21 volt taps
Front zone 35 kVA with 15 and 18 volt taps
Rear zone 35 kVA With 15 and 18 Volt taps
UPS For emergency shutdown: 24 VDC, 20 A.
Diffusion pump power supply: 230 VAC, Single phase, 20 A
Mechanical pump power supply: 230 VDC, 3 phase, 10 A
Power supply: 350 kVA, 3 Phase, 6 Zone.
2014 vintage.
열 기술 SAS-2000은 Ceramics 및 Semiconductor 응용 프로그램에 탁월한 다재다능성을 제공하는 차세대 Chamber Oven/Furnace입니다. 최대 2000 ° C의 균일 한 열 가열을 제공하며, 최소한의 열 스트레스로 빠른 냉각을 허용하는 독특한 공랭식 장비를 갖추고 있습니다. 오븐/퍼니스에는 전체 온도 등온 프로파일에 균일 한 열 분포를 제공하는 특수 설계 된 챔버 (chamber) 가 있습니다. 이를 통해 각 샘플이 정밀한 온도 조절을 통해 가열되고, 프로세스 결과를 최적화하면서 샘플 열 응력을 최소화합니다. 또한, 각 애플리케이션의 요구 사항에 맞게 개별 온도 영역을 효과적으로 제어할 수 있는 정확한 조닝 (zoning) 을 사용할 수 있습니다. SAS-2000 은 고급 PID 제어가 포함된 정밀한 컨트롤러를 갖추고 있어 확장 온도 범위에서 정확하고 안정적인 프로세스 제어를 보장합니다. 또한 THERMAL TECHNOLOGY SAS-2000은 독특한 공랭식 시스템을 제공하여 열 충격을 효과적으로 줄이고 민감한 부품의 수명을 연장합니다. 공랭식 (air-cooling) 장치 설계는 조정 가능한 온도 조절이 가능한 공랭식 송풍기로 구성되어 정밀한 온도 조절 및 정밀한 냉각 속도를 제공합니다. SAS-2000 오븐/퍼니스에는 배치 Tempering, Hi-temperature Annealing, Metal Alloying 등과 같은 다양한 응용 프로그램에 대해 사전 설정 할 수있는 다양한 난방 요소가 있습니다. 가열 요소는 최고의 균일 한 가열과 정밀한 열 제어 (thermal control) 를 보장하는 특수 독점 머신으로 설계되었습니다. 가열 원소는 또한 산화에 저항하여 확장 된 오븐/퍼니스 업 타임 (oven/furnace up time) 을 허용하도록 설계되었습니다. THERMAL TECHNOLOGY SAS-2000에는 통합 고급 사용자 인터페이스 (Advanced User Interface) 가 내장되어 있어 프로세스 매개변수의 종합적인 실시간 표시 및 제어 기능을 제공합니다. 이 고급 인터페이스를 사용하면 응용 프로그램의 특정 요구 사항에 맞게 오븐/퍼니스 (oven/furnace) 및 PID 프로세스 매개변수를 구성할 수 있습니다. 또한 통합 자동 조정 기능을 제공하여 오븐/퍼니스 설정을 쉽고 정확하게 조정할 수 있습니다. 전반적으로 SAS-2000은 사용자에게 탁월한 성능과 다용성을 제공하는 한편, 정확한 제어 및 성능을 제공합니다. 이 오븐/퍼니스는 뛰어난 균일 한 열 분포, 온도 및 냉각의 정확한 제어, 유연한 온도 조절을 제공하는 데 뛰어납니다. 내장된 고급 사용자 인터페이스와 고급 PID 제어를 통해, THERMAL TECHNOLOGY SAS-2000은 정확하고 안정적인 어플리케이션 결과를 제공합니다.
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