판매용 중고 TERA SEMICON TERA300CA #9241992

TERA SEMICON TERA300CA
ID: 9241992
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2011
Diffusion furnace, 12" 2011 vintage.
테라 세미콘 테라 300CA (TERA SEMICON TERA300CA) 는 다이아몬드 산업 및 기타 고급 반도체 시장의 어닐링 및 리플로우 처리를 위해 현장에서 입증 된 폐쇄 허용 컨베이어 로입니다. TERA300CA (Fast Annealing Furnace) 는 뛰어난 온도 균일성과 가장 까다로운 프로세스 요구 사항을 충족하는 뛰어난 On-Station 성능을 갖춘 뛰어난 효율성, 고속 어닐링 퍼니스입니다. TERA SEMICON TERA300CA는 트윈 컨베이어 (twin-conveyor) 설계를 사용하여 웨이퍼 및 최적의 처리량을 동시에 병렬 처리합니다. 트윈 컨베이어의 병렬 프로세스는 주기 시간을 줄이고 디바이스 주기 시간을 최대 40% 까지 단축합니다. 이 장비는 승인 된 웨이퍼의 최대 90% 를 같은 용광로에서 처리 할 수 있으므로 높은 수율을 지속적으로 산출 할 수 있습니다. TERA300CA는 또한 +/- 5 ° C의 정확도로 뛰어난 온도 균일성과 제어를 제공합니다. 전체 복사 열 시스템은 캐스케이딩 히터 제어를 갖춘 5 개의 동심 원형 히터 링 형태로 4 개의 독립적으로 제어 된 링 히터를 사용합니다. 이러한 컨트롤은 최고 효율성과 정확한 온도 제어를 위해 조정할 수 있습니다. TERA SEMICON TERA300CA에는 ± 0.0008 mbar의 가스 흐름 제어를 가능하게하는 고정밀 석영 압력 트랜스듀서가 장착되어 있습니다. TERA300CA는 또한 기계 불규칙성을 감지하고 교정 조치를 취하도록 운영자에게 경고 할 수있는 자체 진단 장치 (self-diagnostic unit) 를 갖추고 있습니다. 이 자가 진단 도구는 시간이 지남에 따라 TERA SEMICON TERA300CA의 최고 효율성과 탁월한 성능을 보장합니다. 최적의 작동 온도를 유지하기 위해 TERA300CA (TERA300CA) 에는 실제 온도와 설정된 온도를 모두 측정하는 온도 균형 자산 (thermocouple) 도 포함되어 있습니다. 따라서 용광로의 제품이 최고 품질 표준을 충족시킵니다. TERA SEMICON TERA300CA (TERA SEMICON TERA300CA) 는 설치 및 유지 보수가 용이하도록 설계되었으며 고객의 요구에 맞게 업그레이드 (옵션) 를 통해 사용자 정의할 수 있습니다. 용광로를 쉽게 설치할 수 있으며, 최소한의 유지 보수 및 수리 작업이 필요합니다. 광범위한 통합 툴/테스트 소프트웨어 (Tools and Testing Software) 를 통해 고객이 모델을 조정하고 조정할 수 있습니다. 또한 TERA300CA 에는 장비 고장의 경우 안전성을 보장하는 열 차단 스위치 (thermal shutoff switch) 와 같은 안전 (safety) 기능이 장착되어 있습니다. 용광로의 외부 덮개는 열 누출을 방지하기 위해 이중층 (double-layered) 으로, 사용자들은 열방패 (heat shield) (옵션) 를 선택하여 사용자와 장비를 고온으로부터 더욱 보호할 수 있습니다. TERA SEMICON TERA300CA는 반도체 및 다이아몬드 어닐링을위한 업계에서 승인되고 효율적이며 신뢰할 수있는 오븐/퍼니스입니다. 컨베이어의 독특한 디자인, 탁월한 온도 조절, 제한된 유지 관리 및 통합 안전 기능으로 인해 TERA300CA (BA) 는 모든 유형의 프로세스에 대해 안정적이고 저렴한 어닐링 로입니다.
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