판매용 중고 REHM SMS-V6-N2 B3300/80-400 #9050538

REHM SMS-V6-N2 B3300/80-400은 이산화실리콘, 질화실리콘 등과 같은 얇은 유전층을 만드는 데 사용되는 반도체 산화로입니다. 균일성과 정확성으로 800 ° C ~ 1400 ° C 범위의 최대 온도를 달성 할 수 있습니다. 이중 주파수 유도 가열 (Dual Frequency Induction Heating) 을 사용하여 최적의 처리 온도에 유연하게 선택할 수 있습니다. 용광로 내의 산화 대기는 질소와 산소의 조합을 사용하여 구성되며, 필요한 경우 최대 100% 의 질소를 사용할 수 있습니다. 이 환경은 사용자의 특정 프로세스 요구사항에 맞게 조정할 수 있으므로, 효율적이고 반복 가능한 (repeatable) 처리를 수행할 수 있습니다. 이 장치에는 다양한 온도 제어 (temperature control) 가 장착되어 있으며, 정확한 온도와 균일하고 반복 가능한 결과를 보장합니다. 여기에는 저장 데이터를위한 최대 4 개의 프로필 프로그램, 자동 과열 보호 시스템, 수동 과열 방지 기능 (manual overtheat protection facility) 이 포함 된 컴퓨터 제어 데이터 로깅 장비가 포함됩니다. 또한, 퍼니스는 웨이퍼 (wafer) 의 정상 온도 프로파일링을 위해 다른 섹션에 대해 독립적 인 오븐 제어를 허용합니다. 통합 된 6 단계 필터 유닛은 용광로 내부의 대기에 미립자가 없도록 보장하고, 마이크로 프로세서 제어 공기 압력 모니터링 기계 (microprocessor-controlled air pressure monitoring machine) 는 대기의 동적 제어를 허용합니다. 용광로의 직물 (fabric) 은 0.5 인치 두께로, 고온 작동 하에서도 열손실을 방지하고 용광로 내부에서 일관된 온도를 유지하기 위해 등급이 매겨집니다. 용광로는 무거운 스테인레스 스틸 (Stainless Steel) 로 만들어졌으며, 내구성과 부식에 강하며 수많은 산업 목적에 이상적입니다. 용광로 내부에 사용 된 비활성 가스는 공정 가스 스위치 (PGS) 를 통해 챔버에 공급됩니다. 용광로에는 기압 모니터 (air pressure monitor) 가 포함되어 있어 원하는 가압이 달성됩니다. 퍼니스의 컨트롤 모듈에는 8.4 "터치 스크린 LCD 디스플레이가 장착되어 있으며, 이를 통해 사용자는 프로그램 설정 및 추적, 온도, 압력, 가스 믹스 등의 제어 매개변수, 모니터 프로세스 진행을 수행할 수 있습니다. 또한 USB 포트는 데이터 백업, 도구 진단 및 소프트웨어 업데이트에 적합합니다. 이더넷이나 RS232/RS485/USB 인터페이스를 사용하여 원격으로 설치를 제어할 수 있습니다. 전반적으로 REHM SMS-V6-N2 B3300/80-400은 반도체 웨이퍼의 산화 및 확산에 적합한 고급 고정밀 로입니다. 유연성 있는 설계, 종합적인 제어 자산, 정확한 온도 모니터링 (temperature monitoring) 기능을 통해 다양한 업계에서 중요한 툴이 될 수 있습니다.