판매용 중고 ACCUTHERMO AW 410 #9185454
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ID: 9185454
웨이퍼 크기: 2"-4"
Rapid thermal processing system, 2"-4"
Main frame with wires
Pentium® class computer with LCD monitor, 17"
Mouse and standard keyboard
Aluminum oven chamber
Water cooling passages
Gold plating plates
Door plate with one TC connection port
Oven control board
Main control board
Bottom and top heating with 17 (1.5 kW) radiation heating lamp module
Isolated quartz tube:
Without pyrometer window
With pyrometer window
(4) Bank zones:
Top: Front and rear
Bottom: Front and rear
Quartz tray: 2"- 4" Round wafer
Gas line with gas MFC without shut-off valve
T-Shaped quartz with qualified K type TC
Holder: 100°C - 800°C Temperature measurement
Thermocouple wires: (5) Pcs
Specifications:
Ramp up rate: 10°C to 120°C/sec
Maximum rate: 200°C
Steady state duration: 0-300 sec/step
ERP Pyrometer: 450-1250°C
With ±1°C accuracy
Thermocouple: 100-800±0.5°C
With ±0.5°C accuracy
Temperature:
Repeatability: ±0.5°C
Uniformity: ±5°C across, 4"
Gases used:
N2
O2
Ar
He
Forming gas
NH3
N2O2
Options:
Patented ERP pyrometer: 400-1250°C
MFCs With extended gas box
Gas control board
Carrier / Suspector for small sample
Transparent substrate
Substrate with metal thin film on top
Non-Contact high temperature sensor
Chiller: ERP Pyrometer
Pyrometer calibration:
Single point
Omega meter CL23A
Thermocouple calibration
Shut-off valve: Quartz tube
Lamps cooling control
Spare parts
Type:
Atmospheric RTP RTA
Desktop
Manual loading
PC Controller with real time control technology
Lamp heating: Top and bottom
(17) Lamps
(4) Lamp zones
Isolated quartz tube
Gold plating plates:
Top
Bottom
Front
Rear
Left
Right
Water cooled oven chamber
Substrate size, 4"
Substrate thickness: <7 mm
Substrate material:
Transparent
Semitransparent
Nontransparent
Substrate shape: Round / Square / Abnormity
Highest temperature: 800-1250°C
Temperature sensor: TC
Longest steady time @1000 °C: 5 Mins
Vacuum pressure control: No
Chamber cooling:
Maximum: 35°C
Dew point: 3°C
35 to 50 psi (2.5 to 3.5 kg/cm2)
Pre-filtered water
Susceptor material: Graphite with SiC coating / Customized
Options:
Temperature sensor: ERP
Susceptor: Base and cover
Gas line: 1
Dimension: 17”x18”x11” (DXWXH)
Gas line: 2 tot 4
Dimension: 17”x26”x11” (DXWXH)
Gas line: 5 to 6
Dimension: 17”x30”x11” (DXWXH)
Power :
3 Phase
50/60 Hz
AC 200V, 208V, 220V, 380V, 415V
Amps: 60
CE Marked.
ACCUTHERMO AW 410은 최대한의 안전, 신뢰성 및 효율성을 위해 설계된 오븐 또는 퍼니스입니다. 이 용광로 (furnace) 는 다양한 기능을 제공하여 난방 공정 (heating process) 과 보호 열 기능 (protective thermal function) 을 정확하게 제어합니다. 이 장치는 강력한 챔버 (chamber and insulation) 설계를 통해 최대 열 보존을 보장하여 안정적인 난방 성능을 제공합니다. 또한 챔버 전체에 열전달도 가능하도록 강력하고 조절 가능한 팬 장비를 갖추고 있습니다 (영문). 온도 컨트롤러에는 PID 기반 프로그래머블 로직 (programmable logic) 이 있어 가열 과정을 정확하게 제어할 수 있습니다. 컨트롤러는 사용자가 조정할 수 있는 프로그램을 제공하는데, 이 프로그램은 예열식 (preheating), 홀딩 (holding), 램핑 (ramping) 및 기타 여러 프로세스 기능에 사용할 수 있습니다. 또한 조정 가능한 온도 오버 슈트 (overshoot) 또는 언더 슈트 (undershoot) 경보를 제공하므로 사용자가 프로세스를 주시하고 정확한 온도 제어를 보장할 수 있습니다. AW 410에는 조절 가능한 공기 분배 시스템도 있습니다. 이 장치는 공기 속도 및 1 차 공기 분포를 직접 조정하여 난방 균일성을 향상시키는 데 도움이됩니다. 이것은 열이 오븐 챔버를 가로 질러 균등하게 전달되도록 보장합니다. 공기 흐름기 (air flow machine) 는 또한 챔버에서 과도한 연료 소비 또는 창문 과열을 줄이는 데 도움이됩니다. 이 용광로에는 운영 안전을 보장하기 위해 설계된 여러 가지 보호 요소가 있습니다. 내부에는 고온 절연 덮개와 조절 가능한 도어 배플 (Baffle) 이 있습니다. 이러한 기능은 직접 열이나 불꽃에 금속 노출을 줄이는 데 도움이됩니다. 내부는 또한 오목한 핸들 히터 (handle heater) 와 조절 가능한 스위치를 장착하여 작동이 쉽고 안전성이 향상되었습니다. ACCUTHERMO AW 410은 산업 및 실험실 설정에 사용하도록 설계되었습니다. 용광로는 소결, 온화, 경화, 기타 모든 유형의 열 공정 (thermal process) 과 같은 다양한 열 처리 작업에 사용될 수 있습니다. 용광로는 최대 온도가 2010 ° C이며, 정확도는 ± 3 ° C입니다. 이 용광로는 최적의 열 단열재로 설계되었으며, 대형 강철 (Heavy-Duty Steel) 및 세라믹 (Ceramic) 부품을 사용하여 오랫동안 지속되는 성능과 신뢰성을 보장합니다.
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