판매용 중고 ACCUTHERM AW 820 #9185471
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ID: 9185471
웨이퍼 크기: 2"-8"
Rapid thermal processing system, 2"-8"
Ramp up rate: 10°C to 120°C per/sec
Maximum rate: 200°C
Steady state duration: 0-600 sec/step
Steady state temperature range: 150°C - 1150°C
ERP Pyrometer: 450°C-1250°C
With ±1°C accuracy
Thermocouple: 100°C-800°C
With ±0.5°C accuracy
Temperature:
Repeatability: ±0.5°C
Uniformity: ±8°C across an 8"
Gases used:
N2
O2
Ar
He
Forming gas
NH3
N2O2
Main frame with wires
Pentium® class computer with touch screen monitor, 15"
Mouse and standard keyboard
Aluminum oven chamber
With water cooling passages
Gold plating plates
Door plate with TC connection port
Isolated quartz tube without pyrometer window or with Pyrometer window
Oven control board
Main control board
Bottom and top heating with 27 (1.2kW) radiation heating lamp module
(4) Bank zones
Top: Front and rear
Bottom: Front and rear
Quartz tray: 5" to 8" Round wafer / Customized
Gas lines with gas MFC with shut-off valve
T-Shape quartz with qualified K-type TC
Holder for 100°C-800°C temperature measurement
Thermocouple wires: (5)pcs
Options:
MFCs with gas control
Carrier / Susceptor:
Small sample
Transparent substrate
Substrate with metal thin film on top
Patented ERP pyrometer (400-1250°C)
Non-contact high temperature sensor
Chiller for ERP pyrometer
Single point for pyrometer calibration
Omega meter for pyrometer and thermocouple calibration
Shutt-off valve for quartz tube
Lamps cooling control
Spare parts
Type:
Atmospheric RTP RTA
Stand alone
Manual loading
PC Controller with real time control technology
Lamp heating: Top and bottom
(27) Lamps
(4) Lamp zones
Isolated quartz tube
Gold plating plates:
Top
Bottom
Front
Rear
Left
Right
Water cooled oven chamber
Substrate size, 8"
Substrate thickness: <10 mm
Substrate material:
Transparent
Semitransparent
Nontransparent
Substrate shape: Round / Square / Abnormity
Highest temperature: 800°C-1250°C/1500°C
Temperature sensor: TC
Longest steady time @1000 °C: 30 mins
Vacuum pressure control: No
Chamber cooling:
Maximum: 35°C
Dew point: 3°C
Pre-filtered water
Susceptor material: Graphite with SiC coating / Customized
Options:
Temperature sensor: ERP
Omega meter: CL23A
Susceptor: Base and cover
Power :
3 Phase
50/60 Hz
AC 200V, 208V, 220V, 380V, 415V
Amps: 100
CE Marked.
ACCUTHERM AW 820은 일반적으로 유리 제조, 에나멜링 및 금속 작업과 같은 세라믹 응용 분야에 사용하기위한 효율적인 전로입니다. 이 용광로 는 "에너지 '절감 을 극대화 하기 위해 특별 히 설계 되었는데, 이 용광로 는 고급 절연 장치 와 자동 온도 조절 장치 로 인하여 온도 의 일정성 을 유지 하는 데 도움 이 된다. 이 전기는 스테인레스 스틸 프레임으로 제작되었으며 실리콘 카바이드 코팅 스틸 인테리어 (silicon carbide-coated steel interior) 와 스테인레스 스틸 (stainless steel) 외관이 장착되어 있습니다. 또한, 이 퍼니스에는 강철 인테리어 (Steel Interior) 와 스테인레스 스틸 (Stainless Steel) 외부 사이에 특별한 내열 내화 벽돌 라이닝이 장착되어 열을 유지하고 전기를 꺼냅니다. 이 용광로 에는 또한 "에너지 '가 최적 의 온도 상태 에 있게 하기 위하여 강제 공기 냉각 장치 가 갖추어져 있다. AW 820은 에너지 효율성을 보장하기 위해 탁월한 기술을 사용합니다. 최첨단 전기 제어 시스템은 모든 열 기능 및 에너지 소비 관리를 관리합니다. 이 전기 제어 장치에는 온도 및 에너지 사용량을 모니터링하고 원하는 작동 온도를 설정하는 데 사용할 수 있는 터치 스크린 LCD (Touch Screen LCD) 패널이 포함되어 있습니다. 또한 내장형 "에너지 절약 타이머 (energy-saving timer)" 를 사용하여 각 작업 주기에 원하는 시작 시간과 종료 시간을 설정할 수 있습니다. ACCUTHERM AW 820은 최대 820 ° C의 온도에 도달하도록 설계되었으며 온도 균일성은 ± 3 ° C입니다. 작동 온도 0 ° C ~ 1100 ° C로 설계되었으며 230V 단상 전원 입력으로 18.4kW의 정격 전력을 제공합니다. AW 820은 쉽고 안전한 작동을 위해 설계되었습니다. 통합 안전 기능에는 열전대 효과 활성화 안전 장치 (thermocouple effect-activated safety device) 와 용광로에 대한 무단 액세스를 방지하기 위해 설계된 스프링 로드 안전 인터 록 (spring-loaded safety interlock) 이 포함됩니다. 또한, 메쉬 도어 (mesh door) 에는 개통 시 용광로 (furnace) 의 전원을 차단하는 제한 스위치가 장착되어 있습니다. 용광로에는 알람 머신 (alarm machine) 이 함께 제공되어 사용자가 안전하지 않은 작동 조건에 대해 경고합니다. ACCUTHERM AW 820은 에너지 효율성이 뛰어난 전기로로서, 에너지 효율성이 최대이고, 온도가 균일하며, 안전성이 뛰어나, 세라믹 공정이 필요한 작동에 적합합니다.
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