판매용 중고 ACCUTHERM AW 810V #9185474
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ID: 9185474
웨이퍼 크기: 2"-8"
Rapid thermal processing system, 2"-8"
Vacuum pressure: 50m Torr to 13 Torr / 13 Torr to 760 Torr
Ramp up rate: 10°C to 120°C per/sec
Maximum rate: 200°C
Steady state duration: 0-600 sec/step
Steady state temperature range: 150°C - 1150°C
Maximum: 1250°C
K-Type TC temperature accuracy: ±1°C
Thermocouple temperature accuracy: ±0.5°C
Temperature:
Repeatability: ±0.5°C
Uniformity: ±8°C across a 8"
Gases used:
N2
O2
Ar
He
Forming gas
NH3
N2O2
Main frame with wires
Pentium® class computer with LCD monitor, 17"
Mouse and standard keyboard
Aluminum oven chamber
Water cooling passages
Door plate with TC connection port
Top and bottom quartz windows
Heating module with 28 (1.2kW) radiation lamps
(6) Bank zones control
Oven control board
Main control board
Quartz tray: 2-4" / 4-6" / 5-8" Round wafer
(2) Gas lines with gas MFC with shut-off valve
Main vacuum valve
Options:
Atmospheric process function
Vacuum pressure measurement and control function
Vacuum pump:
Mechanical
Dry
Multiple process gases
MFCs (Up to 4) with gas control board
K-Type TC assembly for high temperature
Carrier / Susceptor:
Small sample
Transparent substrate
Substrate with metal thin film on top
Omega meter thermocouple calibration
Shutt-off valve: Quartz tube
Lamps cooling control
Spare parts
Types:
Vacuum RTP RTA
Desktop
Manual loading
PC Controller with real time control technology
Lamp heating: Top and bottom
(27) Lamps
(4) Lamp zones
Isolated quartz tube: No
Gold plating plates:
Top and bottom in lamp module only
Water cooled oven chamber
Substrate size, 8"
Substrate thickness: <10 mm
Substrate materials:
Transparent
Semitransparent
Nontransparent
Substrate shape: Round / Square / Abnormity
Highest temperature: 800-1250/1500°C
Temperature sensor: TC, Special TC
Longest steady time @1000°C: 10mins
Vacuum pressure control:
50m Torr-13 Torr (Option) / 10-6 Torr
Chamber cooling:
Maximum: 35°C
Dew point: 3°C
Pre-filtered water
Susceptor material: Graphite with SiC coating
Susceptor size: 4, 5, 6, 8, 4X4”, 5X3”, 16X2”
Base pressure: 50m Tor / 10-6 Torr
Options:
Omega meter: CL23A
Process gas lines with MFCs: 2, 3
Atmospheric function
Susceptor: Base and cover
Power :
3 Phase
50/60 Hz
AC 200V, 208V, 220V, 380V, 415V
Amps: 100
CE Marked.
ACCUTHERM AW 810V 퍼니스는 다양한 고급 산업 프로세스 및 어플리케이션의 요구를 충족하도록 설계된 강력한 고온 오븐/퍼니스입니다. AW 810V (Forced-convection oven) 는 공기 순환 방법을 사용하여 작업 챔버 전체에서 일관된, 심지어 온도를 보장하는 강제 대류 오븐입니다. 따라서 대용량 배치 (large batch) 나 대용량 배치를 신속하게 가열하고 중소형 배치를 효율적이고 정확하게 처리할 수 있습니다. ACCUTHERM AW 810V에는 이중 쉘 저열 질량 구조가 장착되어 있습니다. 이를 통해 단위는 최고 2500 ° F (1371 ° C) 의 온도에서 작동 할 수 있으며, 전력 대 온도 비율은 우수합니다. AW 810V는 또한 장비 효율성을 극대화하는 에너지 절약 디자인을 갖추고 있습니다. 대용량 난방 (high-capacity heating) 요소를 사용하여 최대 전력을 보장하는 한편, 빠른 복구 시간을 사용자에게 제공합니다. ACCUTHERM AW 810V 의 공기 흐름은 완전히 조절 가능하여, 사용자가 공기 속도를 조절하여 애플리케이션의 최적의 열 환경을 만들 수 있습니다. AW 810V의 내부 챔버는 고급 알루미늄 강철로 제작되었습니다. 이것 은 처리 되는 물질 의 무결성 을 유지 하면서, 극히 동질성 과 "온도 '의 균일성 을 보장 해 준다. "오븐 '에는" 오븐' 의 내부 구성 을 사용자 정의 할 수 있는 조정 가능 선반 "시스템 '이 들어 있다. ACCUTHERM AW 810V 는 견고한 도어 (door) 어셈블리와 에너지 폐기물을 줄이고 오븐의 무결성을 보장하는 독특한 인감 장치 (seal unit) 로 설계되었습니다. AW 810V에는 디지털 디스플레이, 타이머, 온도 스윕 등의 다양한 사용자 친화적 제어 시스템이 있습니다. 온도 조절 장치 (temperature control machine) 는 정확한 온도 조절을 제공하며 완전히 프로그래밍 가능하므로 온도 프로파일을 정확하게 재현할 수 있습니다. 또한 타이머 제어 (Timer Control) 를 사용하여 활동의 일정을 쉽게 예약할 수 있고 온도 스윕 (Temperature Sweep) 을 통해 여러 부품을 동시에 빠르게 가열할 수 있습니다. ACCUTHERM AW 810V의 많은 기능 외에도, 많은 안전 기능이 포함되어 있습니다. AW 810V는 UL과 CE 승인을 받았으며, 직원, 장비 및 처리 중인 재료를 보호하기 위해 많은 안전 조치를 포함합니다. 이러한 안전 기능에는 과온 제어 릴레이, 고온 경보 도구 및 비상 종료가 포함됩니다. ACCUTHERM AW 810V (ACCUTHERM AW 810V) 는 고성능, 신뢰성 있는 오븐 또는 퍼니스가 필요한 다양한 산업 어플리케이션에 적합한 솔루션입니다. 효율적인 난방 기능과 고급 안전 기능을 갖춘 AW 810V (AW 810V) 는 효율적이고, 안정적이며, 비용 효율적인 오븐 또는 퍼니스를 필요로 하는 사용자에게 탁월한 선택입니다.
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