판매용 중고 VIRTIS Virsonic 100 #9082486

VIRTIS Virsonic 100은 웨이퍼 포스트 프로세싱 환경의 효율성을 극대화하기 위해 설계된 혁신적인 웨이퍼 프로세스 장비입니다. 이 시스템은 동일한 크기와 두께의 여러 웨이퍼를 단일 (single run) 방식으로 자동으로 처리하도록 설계되었습니다. 직관적인 사용자 인터페이스 (user interface) 를 갖추고 있으며 완전하게 자동화된 워크플로우 장치 (workflow unit) 를 갖추고 있어 처리량을 극대화하면서 사용자의 개입을 최소화합니다. Virsonic 100은 샘플 회전 목마, 웨이퍼 트레이, 난방 챔버 및 냉각기의 4 가지 주요 구성 요소로 구성됩니다. 샘플 회전 목마는 웨이퍼를 고정하고 동시에 처리 할 수 있습니다. 웨이퍼 트레이는 처리 중에 웨이퍼를 안전하게 보관합니다. 가열 챔버 (heating chamber) 는 최대 500 ° C의 온도에 도달 할 수 있으며 정밀한 프로세스 제어를 위해 균일 한 가열을 제공합니다. 냉각 도구는 웨이퍼의 온도를 낮춰 프로세스 전반에 걸쳐 균일성을 보장 할 수 있습니다. VIRTIS Virsonic 100은 모듈성이 뛰어나며 사용자 요구 사항에 따라 사용자 정의할 수 있습니다. 청소 및 건조, 화학 증기 증착, 물리적 증기 증착, 식각 등 구성 가능한 공정 단계를 제공합니다. 이를 통해 사용자는 자산을 특정 wafer 프로세스 요구 사항에 맞게 사용자 정의할 수 있습니다. 이 모델에는 프로세스의 각 단계에서 정밀 제어에 대한 온도, 압력, 흐름 속도 (flow rate) 에 대한 실시간 정보를 모니터링하는 센서가 장착되어 있습니다. Virsonic 100은 광범위한 산업을위한 이상적인 웨이퍼 처리 장비입니다. 뛰어난 반복성과 높은 처리량을 제공합니다. 구성 가능한 프로세스 (configurable process) 단계를 통해 다용도를 극대화하여 사용자는 특정 애플리케이션에 필요한 결과를 얻을 수 있습니다. 직관적인 사용자 인터페이스 (user interface) 와 실시간 피드백 (real-time feedback) 을 통해 프로세스 매개변수를 완벽하게 제어할 수 있으므로 수익률과 효율성을 극대화할 수 있습니다.