판매용 중고 ULTECH Ultrsonic #9153462
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ID: 9153462
LED Equipment cleaning system
Includes
(3) Ultrasonic generators
(1) Control module
(3) Regulators
(1) Pressure gauge
(3) Selenoid valves
(1) PLC.
ULTECH Ultrasonic 웨이퍼 처리 시스템은 반도체 제조를위한 웨이퍼를 준비하고 청소하는 데 사용됩니다. 이러한 시스템은 웨이퍼 서피스 (wafer surfaces) 에서 잔류 물을 제거하고 결합 용도로 사용되는 서피스 마무리 (surface finish) 를 준비하는 신뢰할 수 있고 반복 가능한 방법을 제공합니다. ULTECH Ultrasonic 웨이퍼 처리 시스템의 기본 설계는 사운드 트랜스듀서, 탱크 및 컨트롤러로 구성됩니다. "사운드 트랜스듀서 '는" 웨이퍼' 표면 에서 오염 물질 을 분해 하고 제거 하는 데 필요 한 "에너지 '를 공급 하는 초음파 를 발생 시키고 전달 하도록 설계 되었다. "탱크 '는 청소" 유우프' 로 가득 차 있으며, 보통 물 과 특수 화학 물질 을 첨가 하여 정전기 수준 을 감소 시킨다. "컨트롤러 '장치 는 청소 에 필요 한" 에너지' 를 공급 하는 데 사용 될 음파 의 주파수, 진폭, 지속 시간 을 조절 하도록 "프로그램 '되어 있다. ULTECH 공정에서 발생하는 초음파 (Ultrasonic Wave) 는 미생물, 무기 및 유기 오염 물질을 제거하는 데 매우 효과적입니다. 파동은 웨이퍼 (wafer) 의 표면을 넘어 이동하며, 공동 (cavitation) 효과를 일으켜 표면에서 오염 물질을 느슨하게합니다. 청소 과정 은 "탱크 '내 의 청소제 의 동요 로 더욱 강화 되는데, 이것 은 오염 물질 을 분해 하고 지표 에서 벗어나게 하는 데 도움 이 된다. 오염 물질 을 제거 한 후, "웨이퍼 '의 표면 마무리 도 제어 할 수 있다. 이것은 트랜스듀서에 의해 생성 된 음파의 주파수, 진폭, 지속 시간을 조정함으로써 수행됩니다. 낮은 주파수 의 파도 를 사용 함 으로써, 미세 하고 균일 한 마무리 를 이룰 수 있다. 이 마무리 (finish) 는 패키지 디바이스의 접착을 촉진하기 위해 사용되며, 안정적인 백그라인딩 프로세스에 필요합니다. 울텍 초음파 처리 시스템 (Ultech Ultrasonic Wafer Processing Systems) 은 항공 우주, 자동차, 의료 등 다양한 산업과 반도체 장치 제조에 사용됩니다. 이 시스템은 사용하기 쉽고, 비용 효율적이고, 반복 가능하며, 신뢰할 수 있는 방법으로 웨이퍼 표면을 준비 및 청소할 수 있습니다.
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