판매용 중고 TAKANG VMC 760 #149977

TAKANG VMC 760은 고품질 웨이퍼 생산을 촉진하기 위해 설계된 다기능 웨이퍼 처리 장비입니다. 이 시스템은 스핀 코팅 (spin-coating), 디핑 (dipping), 에칭 (etching), 포토 리토 그래피 (photolithography) 및 스핀 건조 (spin-drying) 등 다양한 작업을 하나의 머신에서 수행 할 수 있습니다. 또한, VMC 760 에는 공정 단계 (Stage of Process) 와 작업 (Operation) 에 특화된 개별 도구 간에 자동으로 웨이퍼를 전송하는 데 사용할 수 있는 로봇 암 (Robotic Arm) 이 포함되어 있습니다. 로봇 암의 자동 특성으로 인해 TAKANG VMC 760은 최대 200mm (8 인치) 웨이퍼의 움직임을 빠르고 정확하게 제어 할 수 있으며, 이는 다양한 작업에 사용될 수 있습니다. 또한, VMC 760에는 강력한 에칭 장치가 장착되어 있으며, 2 개의 메가 에칭 시스템이 장착되어 있으며, 두 유형 III 또는 유형 IV 저항 레이어의 에칭이 가능합니다. TAKANG VMC 760에는 시뮬레이션 소프트웨어도 포함되어 있는데, 이 소프트웨어는 사용자가 압력, 농도, 유량 (flow rate) 과 같은 매개변수를 정확하게 조정하고 조정하여 최고 품질의 결과를 얻을 수 있도록 도와줍니다. 이 기계는 또한 에칭 (etching) 과정에서 웨이퍼의 온도와 속도를 모니터링하기 위해 광전자 (optoelectronics) 와 함께 제공되어 결과가 매번 일관되게 유지됩니다. 또한 최대 12 개 레이어의 웨이퍼를 적절히 정렬할 수 있는 멀티 레이어 정렬기 (multi-layer aligner) 도 있습니다. 즉, 웨이퍼는 복잡성과 상관없이 올바르게 처리됩니다. VMC 760은 에칭 프로세스 외부에서 사용자가 스핀 코팅, 사진 분석, 스핀 건조 등을 수행할 수 있습니다. 스핀 코팅 공정 (spin-coating process) 은 정밀 윤활성 노즐 (nozzle) 을 사용하여 얇은 재료 층을 웨이퍼에 적용한 다음 웨이퍼를 정확한 속도로 돌려 재료가 고르게 분배됩니다. 마찬가지로, photolithography 옵션은 UV light, oxide film 및 기타 재료를 사용하여 웨이퍼 표면에 미세한 피쳐를 생성하는 데 사용됩니다. 마지막으로, 스핀 건조 공정 (spin drying process) 은 다양한 작업이 완료된 후 웨이퍼에 존재하는 모든 수분을 제거합니다. 요약하면, TAKANG VMC 760은 로봇 암, 시뮬레이션 소프트웨어, 광전자 및 다중 계층 정렬기를 갖춘 강력한 웨이퍼 처리 도구입니다. 이러한 기능을 통해 이 시스템은 고품질 웨이퍼 (wafer) 생산에 이상적이며, 운영 시간을 줄이고, 결과가 매번 일관되게 유지되도록 도와줍니다.