판매용 중고 TAICHAO TS12-094 #293655247
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TAICHAO TS12-094는 중국 기반 TAICHAO Electronics의 최첨단 고급 웨이퍼 처리 장비입니다. 이 시스템은 고급 집적 회로 및 광자 제품의 최적의 생산을 위해 특별히 설계되었습니다. 반도체 업계에서 photolithography, plasma etching, wet processing 및 thermal processing과 같은 다양한 웨이퍼 처리 응용 분야에 널리 사용됩니다. 에너지 효율과 환경 보호를 염두에두고 설계된 TS12-094 장치는 모든 종류의 마이크로 생산 프로세스에 대한 최적화 및 제어를 제공하는 CNC (Computer Numerical Control) 머신을 갖추고 있습니다. 강력하고 정확한 처리를 제공하는 강력한 DC 전기 구동 마비 스핀들이 장착되어 있습니다. 또한 CNC 툴은 통합 작업 제어 (Operations Control) 및 모니터링 (Monitoring) 과 함께 광범위한 웨이퍼에 대한 높은 정확성을 제공합니다. 고급 플라즈마 에칭의 경우, TAICHAO TS12-094 에셋은 고전력 이온 소스를 특징으로하며, 이를 통해 초청정 (ultra-clean) 패스 생성을 위한 고질량 이온화를 제공할 수 있습니다. 또한 매우 정확한 에칭 결과를 가능하게하는 고정밀 포지셔닝 메커니즘이 있습니다. 또한, 이 모델에는 효율적이고 정확한 열 처리를 위해 384 포인트 온도 제어가 장착되어 있습니다. TS12-094 에는 다양한 통합 프로세스 중심 소프트웨어 패키지가 제공되며, 이 패키지에는 실시간 프로세스 모니터링 및 제어가 제공됩니다. 이러한 패키지를 통해 자동화되고 정확한 작동이 가능하므로 결함이 줄어들고 프로세스 수익률이 향상됩니다 (영문). 이 소프트웨어는 또한 사용자 친화적으로 설계되었으며, 사용이 간편한 직관적인 인터레이어 (interlayer) 를 제공합니다. 안전성 면에서, 장비에는 운영 환경 모니터링을위한 종합적인 모니터링 시스템 (monitoring system) 이 장착되어 있다. 여기에는 사고로 인한 화재 또는 장치 종료 위험을 줄이기 위해 온도, 압력, 전압 모니터링 (monitoring of temper, pressure, and voltage) 이 포함됩니다. 이 모든 기능을 통해 TAICHAO TS12-094 는 웨이퍼 (wafer) 생산 프로세스를 보다 고급 수준으로 업그레이드하려는 기업에게 이상적인 선택이 됩니다.
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