판매용 중고 TAESUNG TSG-SE-250 #9233640

태성 TSG-SE-250은 웨이퍼 처리를 위해 설계된 최첨단 장비입니다. 이 시스템은 프로세스 입력 및 출력을 추적 및 분석하기 위해 OPC (Open Platform Control) 와 같은 고급 프로세스 분석 방법을 사용하여 통합 프로세스 제어 및 모니터링 장치를 제공합니다. TSG-SE-250 머신은 사전 구성된 모듈식 레이아웃 (lay-out) 기능을 통해 동일한 플랫폼에서 최대 5 개의 동시 프로세스 툴을 모두 수용할 수 있습니다. 즉, 동일한 복잡한 웨이퍼 구성 프로세스를 동시에 처리할 수 있습니다. 태성 TSG-SE-250은 다양한 안전 및 프로세스별 기능으로 설계되었습니다. 공압 동력 게이트 도구 (pneumatically powered gate tool) 는 각 챔버가 웨이퍼 처리 중 안전한 대기 압력으로 유지되고 오염 제한 (therisk of contamination) 을 보장합니다. 또한, 자산에는 부적절한 대기 압력으로 인해 챔버 (chamber) 가 손상 될 위험이 있을 때 사용자에게 경고하기 위해 정확한 경보 모델이 장착되어 있습니다. TSG-SE-250은 난방 및 냉각 측면에서 매우 효율적입니다. 이 장비에는 전체 공정 기간 동안 일정한 온도를 유지하는 2 개의 고효율 칠러가 장착되어 있습니다. 이를 통해 전체 프로세스 체인이 잘 유지되고 시스템 전체에서 열 전달을 용이하게합니다 (영문). 또한이 장치는 정확하게 교정 된 질소 흐름 머신 (flow machine) 을 갖추고 있으며, 냉각 및 난방 주기를 최적화하는 한편, 전극 손상 및 온도 그라디언트에 대한 최적의 열 보호 (thermal protection) 를 제공합니다. TAESUNG TSG-SE-250의 핵심은 OPC 도구로, 통합 프로세스 모니터링 자산과 함께 작동하여 모든 프로세스 조건에 대한 실시간 분석을 제공합니다. 전체 모델은 이더넷 (Ethernet) 연결을 통해 OPC 서버에 연결되므로 손쉬운 데이터 로깅과 신속한 분석 피드백을 제공합니다. 이 장비는 임베디드 산업 등급 센서를 사용하여 전체 웨이퍼 처리 과정에서 압력, 전류, 온도를 측정합니다. 이렇게 하면 모든 프로세스가 안전하게, 정확하게 실행되어 생산량 및 제품 품질이 향상됩니다 (영문). 결국, TSG-SE-250은 정확성과 안전성으로 웨이퍼를 처리하도록 설계된 고급 시스템입니다. 통합 모니터링 장치, 고효율 칠러, 정확한 알람 머신, OPC 툴을 갖춘 이 자산은 최대 성능, 고수율, 고품질 제품 출력을 제공할 수 있습니다. 이러한 기능을 통해 TAESUNG TSG-SE-250은 모든 웨이퍼 FAB 프로세스에 이상적인 선택입니다.