판매용 중고 TAESUNG TSG-JET-250 #9233636

ID: 9233636
빈티지: 2017
Jet cleaning system 2017 vintage.
TAESUNG TSG-JET-250은 다양한 웨이퍼 제작 프로세스를위한 다목적 자동 웨이퍼 처리 장비입니다. 다중 스테이션 처리 스테이션으로 구성된 단일 시스템입니다. "클리어룸 '환경 에서 사용 하도록 설계 된 이 장치 는 여러 가지 산업 및 반도체" 애플리케이션' 에 적합 하다. TSG-JET-250은 모듈식 설계를 통해 특정 어플리케이션에 따라 쉽게 사용자 정의할 수 있습니다. 각 스테이션을 매우 정확한 속도로 움직이는 매우 정밀한 풀 서보 머신 (full servo machine) 이 특징입니다. 이를 통해 제품 손실이 최소화되면서 엄격한 허용 한도와 높은 수익률을 얻을 수 있습니다. 기본 컨트롤러 보드는 실시간 데이터 모니터링 및 데이터 로깅 (data logging) 기능을 제공하며, 프로세스 제어를 위해 다양한 유형의 PCB 및 웨이퍼에 액세스할 수 있습니다. 태성 TSG-JET-250 (TESUNG TSG-JET-250) 에는 웨이퍼를 처리 스테이션에서 송수신하기 위한 자동 웨이퍼 전송 로봇이 장착되어 있습니다. "로봇 '은 자기 에 기초 한 기술 을 사용 하여 가공 하는 중 에" 웨이퍼' 에 잠재적 인 손상 을 입히지는 않는다. 또한 "웨이퍼 '에서 잔류 용제 나 다른 오염 물질 을 제거 하기 위한 진공" 린싱' 및 "블로우 '건조 기능 이 있다. 이 도구에는 또한 온라인 웨이퍼 검사 모듈이 포함되어 있어 웨이퍼를 실시간으로 검사할 수 있습니다. 검사 중 프로세스 매개 변수를 최적으로 제어하기 위해 3 개의 레이저 포커싱 시스템이 장착되어 있습니다. 또한, 자산은 자동 데이터 수집 및 기록 기능을 제공하며, 사후 평가를위한 데이터 분석 기능을 제공합니다. TSG-JET-250에는 먼지 제거 모델도 있습니다. 이것은 처리 중 칩에서 수집 된 먼지 입자를 제거하는 특수 필터로 구성됩니다. 또한, 장비에는 정전기 수준 제어를위한 정전기 차폐 시스템 (Static Electricity Shielding System) 과 운송 중 웨이퍼가 흔들리는 것을 방지하는 소프트 잠금 장치 (Soft Lock Mechanism) 가 포함됩니다. 전반적으로 태성 TSG-JET-250 (TAESUNG TSG-JET-250) 은 다양한 산업 및 반도체 어플리케이션에 정밀하고 높은 수율을 제공하도록 설계된 고급적이고 신뢰할 수있는 웨이퍼 처리 장치입니다. 통합 온라인 검사 모듈, 먼지 제거기 및 기타 기능을 갖춘 TSG-JET-250은 웨이퍼 (wafer) 처리를 쉽고 효율적으로 수행합니다.
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