판매용 중고 SYSTRONICS CL500 #9250602

SYSTRONICS CL500은 다양한 웨이퍼 유형을 처리하도록 설계된 독특한 드라이 웨이퍼 처리 장비입니다. 이 시스템은 정확하고 반복 가능한 프로세스 결과를 보장하기 위해 고급 (Advanced) 처리 환경을 제공합니다. 여기에는 정교한 열 격리 챔버, 통합 컨트롤러, 강력한 진공 서브 유닛 및 완전히 밀봉 된 작업 영역이 포함됩니다. 이 기계는 Thermal Isolation Chamber, Integrated Controller 및 Vacuum Sub-Tool의 세 가지 주요 구성 요소로 구성됩니다. 열 분리 챔버 (Thermal Isolation Chamber) 는 처리 중 일정한 온도를 유지하는 역할을 합니다. 이것은 특수 절연 재료와 2 단계 공랭식 자산을 통해 달성됩니다. 통합 컨트롤러는 환경 매개변수를 정확하게 제어하고 프로세스 타이밍 (timing) 과 시퀀싱 (sequencing) 을 관리하는 데 도움이 됩니다. 진공 하위 시스템은 조정 가능한 진공 압력으로 신뢰할 수있는 진공 환경을 보장합니다. CL500 은 고급 비활성 가스 기술을 활용하여 안전하고 비용 효율적인 처리 플랫폼을 제공합니다. 여기에는 비활성 가스 '도핑' 및 깨끗한 작동을 보장하는 제거 기술이 포함됩니다. SYSTRONICS CL500의 유연하고 모듈식 설계를 통해 필요에 따라 작업공간을 추가할 수 있습니다. 따라서 처리 애플리케이션의 특정 요구 사항에 맞게 사용자 지정 구성이 가능합니다. CL500에는 관측 창, 발열량 측정 (heat-sensing pyrometry), 고급 프로세스 센서 (advanced process sensor) 와 같은 여러 프로세스 모니터링 기능이 장착되어 있습니다. 이러한 센서는 프로세스 작업의 진행 상황을 지속적으로 모니터링하고, 작업을 조정 또는 종료할 시간 (시간) 에 지표 (indicator) 를 발행합니다. 이는 특히 프로세스 결과가 정확하고 반복 가능하도록 하는 데 유용합니다. SYSTRONICS CL500 드라이 웨이퍼 (dry wafer) 처리 모델은 안전하고 경제적인 고품질 및 반복 가능한 결과를 제공하도록 설계되었습니다.