판매용 중고 SYSTRONICS CL422 #9251778
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ID: 9251778
빈티지: 2015
Stencil cleaning system
Screen dimension:
Maximum: 800 mm x 800 mm
SS Support frame and housing
Automatic cleaning rinsing and drying
Interface with touch screen
HERMETIC Cleaning chamber
Safety lathing door
Cleaning unit via rotating spray arms in a loop circuit
Centrifugal pump for cleaning and rinsing
Storage tank for cleaning and rinsing
Filter on the cleaning loop: 10 μm and 20 μm
Eternal pump
Convection drying via heated air and connection possibility to the exhaustion
Outlet: Ø 160 mm Air exhaust (500 m3/hour)
MITSUBISHI FX3G-40M PLC Controller
Start up button with light
Start up cycle button with light
Front circuit breaker
Air inlet: 6 Bars
Power supply: 400 V
2015 vintage.
SYSTRONICS CL422는 가장 까다로운 기판 제조 요구 사항을 위해 설계된 최첨단 웨이퍼 처리 장비입니다. 이 시스템은 최대 8 인치 직경과 최대 0.65 mm Cu-clad 두께의 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 웨이퍼 (Wafer) 처리 기술의 최신 고급 기능 (예: 양쪽의 웨이퍼 크기 및 두께 자동 인식, 미리 정의된 마커에 대한 정확한 위치 지정) 을 제공합니다. CL422는 처리량을 효과적으로 두 배로 늘리는 혁신적인 이중 스테이션 구성을 제공합니다. 스테이션은 고품질 결과를 내면서 도구를 청소하고 교정하기 쉽습니다. 이 장치의 고급 기판 기술은 슬롯 형 암, 광학 인식 및 포지셔닝, 정밀 DC 모터를 사용합니다. 이러한 기술은 웨이퍼 코팅, 에칭 및 수동화 프로세스에 대해 높은 수준의 정확성과 반복 성을 제공합니다. 스마트 자동 초점 (smart autofocus) 기능은 사이클의 각 단계에서 최적의 프로세스 포커스를 위해 미리 프로그래밍된 설정을 자동으로 조정합니다. 이는 최고 품질의 결과를 보장합니다. SYSTRONICS CL422에는 화학적 혼합물을 일관성 있게 저장하고 분배하는 혁신적인 화학 관리 머신도 있습니다. 이 도구의 직관적인 소프트웨어를 사용하면 수작업 (manual intervention) 없이 즉석에서 조정할 수 있습니다. 이 에셋을 통해 사용자는 빠른 시작 (quick start) 처리를 위해 설정을 저장하고 로드할 수 있으며, 직관적인 소프트웨어 패키지를 통해 원격으로 데이터 보기 (data viewing) 를 수행할 수 있습니다. 또한 CL422는 향상된 안전 및 환경 보호 기능을 제공합니다. "센서 '와" 모니터' 는 "오퍼레이터 '가 위험 한 화학 물질 에 노출 되는 것 을 방지 하고 과도 한 물질 로 환경 을 전위 로 오염 시킨다. 모델 운영자 (Model Operator) 는 원격으로 장착된 카메라 (Camera) 및 기타 센서로 챔버 내부의 프로세스를 모니터링할 수 있으므로, 프로세스의 상태를 항상 확인할 수 있습니다. 결론적으로, SYSTRONICS CL422는 최신 기술과 사용자 친화적 인 인터페이스를 갖춘 고급 웨이퍼 처리 장비입니다. 높은 정확도, 반복 가능한 결과를 제공하며, 높은 수준의 안전 및 환경 보호를 보장합니다. On-board software package and chemical management system (온보드 소프트웨어 패키지 및 화학 관리 시스템) 을 통해 사용자는 즉석에서 프로세스 매개변수를 모니터링하고 조정할 수 있습니다. 기판 제조 의 가장 높은 요구 조건 을 충족 시키는 데 있어서, 이 장치 는 비길 데 없는 것 이다.
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