판매용 중고 SWAGELOK SWS M100-1 #9076772

SWAGELOK SWS M100-1은 최대 200mm의 효율적인 웨이퍼 처리를 위해 설계된 정밀 자동 웨이퍼 처리 장비입니다. 설치 공간은 102x52cm, 총 무게는 31kg에 불과한 SWS M100-1은 기존의 클린 룸 (clean-room) 레이아웃에 맞게 쉽게 구성되며, 자동화된 프로덕션 시스템에 통합됩니다. 이 시스템에는 3 개의 2D 로봇 픽 및 플레이스 헤드가 있으며, 웨이퍼 전송, 카세트 장착, 웨이퍼 센터 링, 검사 등 각 구성 요소의 독립적 인 작동이 가능합니다. 또한, 이 장치에는 고급 프로세스 컨트롤러 (advanced process controller) 가 장착되어 있어, 특정 웨이퍼 성능 요구 사항에 맞게 다양한 프로세스 매개변수를 독립적으로 조정할 수 있습니다. 광전 센서 (photoelectric sensor) 는 웨이퍼를 타겟에 수신 또는 배치할 때 사용되는 반면, 2 개의 통합 적외선 내장 센서 (integrated infrared bist-in sensor) 는 마운트 또는 배치를 위해 카세트의 존재를 감지합니다. "카세트 '나" 웨이퍼' 를 탐지 하는 것 은 공정 단계 를 밟기 위해 적절 한 "로봇 '머리 를 촉진 시켜 여러 가지 작업 들 사이 에 매끄러운 전환 을 한다. SWAGELOK SWS M100-1은 주기 시간 및 생산 요구에 따라 속도 전송 속도가 0.5 ~ 30 미터/분입니다. 로봇 암의 최대 가속도는 6m/s ² 입니다. 또한, 기계의 처리량은 최대 70 웨이퍼/분입니다. SWS M100-1은 검증된 기계적 구성 요소와 고급 모션/비전 제어 시스템 (motion/vision control system) 을 통합하여 부드럽고 정확한 웨이퍼 처리를 보장하도록 설계되었습니다. 로봇 암은 정밀한 움직임을 보장하기 위해 특수 레일 도구 (special rail tool) 로 구성되며, 시각 에셋에는 최고의 정렬 및 웨이퍼 (wafer) 중심을 위해 광각, 고해상도 카메라가 장착되어 있습니다. 또한, 센서는 IP67 등급으로 밀봉되어 먼지 및 물 손상을 방지합니다. 조작이 간편한 엔지니어링 패널 (engineering panel) 로 구동되는 사용이 간편한 소프트웨어는 운영자에게 모델 상태 모니터링, 매개변수 설정, 사용자에게 친숙한 인터페이스 (interface) 를 제공합니다. 이 장비에는 잠재적인 문제를 쉽게 파악하고 해결할 수 있도록 설계된 자동 진단 시스템 (Auto-Diagnostic System) 도 장착되어 있습니다. 안전성을 염두에 두고 설계된 SWAGELOK SWS M100-1에는 장치 오류에 대한 가청 및 시각적 경보, 기계적 부품에 대한 자체 진단, 푸시 버튼 비상 정지 기능, 빠른 수동 작동을 위한 e-스톱 버튼 등 운영자 및 환경의 안전을 보호하는 다양한 기능이 포함되어 있습니다. 합쳐서, SWS M100-1은 고급 자동 웨이퍼 처리 기계로, 최대 200mm의 웨이퍼를 효율적으로 처리합니다. 이 정밀 (precision) 도구는 견고한 기계적, 전자적 설계를 통해 매우 다양한 생산 환경에서 사용하기에 최적화되어 정확하고 안정적인 웨이퍼 (wafer) 처리를 지원합니다.