판매용 중고 STOELTING / TREK / WESTEK Westkleen Formula 2RS3 #197438

STOELTING/TREK/WESTEK Westkleen Formula 2RS3 (종종 WestKleen이라고도 함) 은 고정밀도 및 신뢰할 수있는 웨이퍼 처리 장비 제조업체 인 TREK가 설계 한 웨이퍼 처리 장비입니다. WestKleen은 웨이퍼 처리 환경에서 사용할 때 최대 성능을 제공하도록 설계되었습니다. 이 시스템은 고급 광학 탐지 기술 (Optical Detection Technology) 과 고정 위치, 이송 배치 (Fed-Position) 클리닝 프로세스를 활용하여 단일 주기로 웨이퍼를 철저히 청소합니다. 전체 2 단계 프로세스를 통해 단위는 점점 더 복잡한 반도체 표면 구조를 청소 할 수 있습니다. 프런트엔드 오퍼레이터 제어 모듈 (Front-End Operator Control Module) 은 시스템 운영 및 모니터링을 위한 사용자에게 친숙한 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 를 제공하여 프로그래밍을 쉽고 효율적으로 수행할 수 있습니다. 웨스트 클린 (WestKleen) 의 고정 위치 공급 배치 클리닝 프로세스는 화학적 분배 및 린스 시스템을 정확하게 제어함으로써 웨이퍼 기하학에 관계없이 안정적이고 반복 가능한 웨이퍼 클리닝 결과를 보장합니다. 화학 분배 도구는 2 개의 정밀 계량 펌프, 2 개의 분배 랜스 및 포탑 노즐로 구성되며, 이는 청소 중 정확한 화학 분사를 제공합니다. 2 개의 독립적 인 고압 린스 시스템은 용매 전달 및 린스 기능을 제공합니다. 자산은 또한 각 웨이퍼의 청소 상태를 지속적으로 측정하는 독점 광학 탐지 모델 (optical detection model) 을 특징으로합니다. 이 장비 는 각 "웨이퍼 '가 깨끗 한 때 를 결정 하며, 화학적 분배 나" 린스' 주기 가 더 실행 된 후 에도 "웨이퍼 '가 부정 한 상태 를 유지 하는 경우 에는 작동 자 에게 경고 할 수 있다. WestKleen에는 고속 웨이퍼 운송 시스템도 있습니다. 각 역에 고속으로 여러 웨이퍼를 운반하는 8 개의 관형 웨이퍼 수송 벨트가 있습니다. 운송 장치는 웨이퍼 당 총 수송 시간이 5 초 미만인 시간 당 최대 800 개 조건으로 작동하도록 설계되었습니다. 웨스트 클린 (WestKleen) 에는 외국 개체를 감지하고 3 단계 보안 보호 기능을 제공하는 센서가 포함 된 고급 안전 머신도 장착되어 있습니다. 모든 보호 커버가 닫히고 모든 안전 센서가 활성화되지 않으면 [도구] 를 작동시킬 수 없습니다. TREK Westkleen Formula 2RS3은 신뢰할 수 있고, 반복 가능하며, 정확한 청소 프로세스를 제공하는 혁신적인 웨이퍼 처리 자산입니다. Wafer Processing 애플리케이션을 위한 최고의 성능과 안전성을 제공하도록 설계되었습니다.